| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 概述 | 第10-19页 |
| ·量子阱红外探测器简介 | 第10-12页 |
| ·红外探测器概述及发展简介 | 第10-11页 |
| ·量子阱红外探测器概述 | 第11-12页 |
| ·耦合方式的发展综述 | 第12-15页 |
| ·基于表面等离子体激元的金属光栅的机理和优势 | 第15-19页 |
| 第二章 量子阱红外探测器表面等离子增强型光栅理论与设计 | 第19-40页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·理论 | 第19-29页 |
| ·严格耦合波分析法(RCWA) | 第19-24页 |
| ·多重多级程序(MMP) | 第24-25页 |
| ·有限时域差分法(FDTD) | 第25-28页 |
| ·光束传播法(BPM) | 第28-29页 |
| ·FDTD SOLUTIONS软件简介及参数设置 | 第29-30页 |
| ·表面等离子增强型光栅的模拟与优化设计 | 第30-38页 |
| ·小结 | 第38-40页 |
| 第三章 金属光栅制备工艺研究 | 第40-52页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·实验 | 第40-51页 |
| ·工艺流程 | 第40-42页 |
| ·主要设备原理简介及金属光栅制作关键工艺 | 第42-49页 |
| ·工艺条件优化 | 第49-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第四章 测试实验与分析 | 第52-58页 |
| ·测试设备简介 | 第52页 |
| ·测试结果分析总结 | 第52-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第66页 |