| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-25页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池的发展概况 | 第11-16页 |
| ·太阳能电池的发展历史和产业现状 | 第11-13页 |
| ·薄膜太阳能电池 | 第13-16页 |
| ·非晶硅薄膜材料及其光伏应用 | 第16-23页 |
| ·非晶硅薄膜结构 | 第16-17页 |
| ·非晶硅薄膜制备方法 | 第17-18页 |
| ·非晶硅薄膜的光致衰减效应 | 第18-19页 |
| ·非晶硅薄膜太阳能电池 | 第19-23页 |
| ·研究目标、研究内容及技术路线 | 第23-25页 |
| ·研究目标 | 第23页 |
| ·研究内容 | 第23-24页 |
| ·技术路线 | 第24-25页 |
| 第二章 非晶硅薄膜太阳能电池的物理和材料基础 | 第25-37页 |
| ·p-n结理论 | 第25-29页 |
| ·p-n结的能带结构和电流电压特性 | 第25-27页 |
| ·a-Si：H的p-n结和p-i-n结 | 第27-28页 |
| ·光生伏特效应 | 第28-29页 |
| ·透明导电氧化物(TCO)薄膜概述 | 第29-31页 |
| ·TCO薄膜特性和制备 | 第29-30页 |
| ·太阳能电池用TCO薄膜的发展 | 第30-31页 |
| ·一维光电子结构分析模型(AMPS-1D)的理论基础 | 第31-37页 |
| ·基本方程 | 第31-33页 |
| ·非平衡载流子的复合理论 | 第33-35页 |
| ·太阳能电池模型建立和参数选取 | 第35-37页 |
| 第三章 试样制备与性能测试 | 第37-44页 |
| ·试样制备 | 第37-41页 |
| ·RF-PECVD沉膜系统 | 第37页 |
| ·原附材料和基片准备 | 第37-39页 |
| ·a-SiC：H薄膜的制备 | 第39-40页 |
| ·TCO/p结的制备 | 第40-41页 |
| ·表征与测试方法 | 第41-44页 |
| ·原子力显微分析 | 第41页 |
| ·紫外-可见光谱(UV-Vis) | 第41-42页 |
| ·傅立叶变换红外光谱(FTIR) | 第42-43页 |
| ·模拟太阳光测试系统 | 第43-44页 |
| 第四章 基于非晶硅薄膜太阳能电池的实验研究 | 第44-57页 |
| ·透明导电薄膜(TCO)表面处理的研究 | 第44-48页 |
| ·AZO薄膜制备 | 第44-45页 |
| ·AZO薄膜绒面设计 | 第45-46页 |
| ·浓硫酸处理对ITO薄膜表面形貌的影响 | 第46-48页 |
| ·a-SiC：H薄膜研究 | 第48-52页 |
| ·CH4流量比例对薄膜沉积速率的影响 | 第48-49页 |
| ·FTIR光谱分析 | 第49-50页 |
| ·光学带隙研究 | 第50-52页 |
| ·TCO/p接触特性研究 | 第52-55页 |
| ·AZO/a-SiC：H接触特性 | 第52-53页 |
| ·ITO/a-SiC：H接触特性 | 第53-54页 |
| ·FTO/a-SiC：H接触特性 | 第54-55页 |
| ·不同CH_4流量比例a-SiC：H与TCO接触特性 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 非晶硅薄膜太阳能电池的仿真研究 | 第57-68页 |
| ·ITO功函数对电池性能的影响 | 第57-58页 |
| ·窗口层(p层)的优化 | 第58-63页 |
| ·窗口层厚度的选择 | 第58-60页 |
| ·窗口层光学带隙对电池性能的影响 | 第60-61页 |
| ·窗口层掺杂浓度对电池性能的影响 | 第61-63页 |
| ·吸收层(i层)的优化 | 第63-67页 |
| ·i层厚度的设计 | 第63-65页 |
| ·缺陷态密度对电池性能的影响 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| ·结论 | 第68页 |
| ·工作不足 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第75页 |