摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-13页 |
第一章 绪论 | 第13-24页 |
·引言 | 第13页 |
·CVD 金刚石涂层概述 | 第13-16页 |
·化学气相沉积概述 | 第13页 |
·CVD 金刚石涂层概述 | 第13-15页 |
·CVD 金刚石在刀具制备中的应用 | 第15-16页 |
·刀具基体的选择 | 第16-18页 |
·刀具基体材料类型的选择 | 第16-17页 |
·硬质合金基体的概述 | 第17-18页 |
·基体和金刚石涂层的表征 | 第18-19页 |
·基体和金刚石涂层形貌的表征 | 第18页 |
·基体材料成分的表征 | 第18-19页 |
·金刚石涂层质量的表征 | 第19页 |
·金刚石涂层残余应力的表征 | 第19页 |
·硬质合金刀具基体金刚石涂层结合性能的国内外研究现状 | 第19-22页 |
·硬质合金基体预处理工艺研究现状 | 第20-21页 |
·CVD 金刚石涂层沉积工艺研究现状 | 第21页 |
·CVD 金刚石涂层膜/基结合性能的评价研究现状 | 第21-22页 |
·本文研究的主要内容 | 第22-24页 |
第二章 硬质合金基体金刚石涂层预处理工艺研究 | 第24-35页 |
·引言 | 第24页 |
·硬质合金基体预处理的特殊性 | 第24-25页 |
·基体预处理方法的初步比较 | 第25-28页 |
·氢气还原预处理的初步尝试 | 第25-27页 |
·碱洗酸洗两步法 | 第27-28页 |
·硬质合金基体碱洗酸洗两步法刻蚀深度研究 | 第28-32页 |
·实验方案设计 | 第28-29页 |
·实验结果与讨论 | 第29-32页 |
·两步法工艺对金刚石涂层膜/基结合性能的影响 | 第32-34页 |
·本章小结 | 第34-35页 |
第三章 硬质合金基体金刚石涂层热应力仿真研究 | 第35-49页 |
·引言 | 第35页 |
·金刚石涂层中残余应力的产生及影响 | 第35-36页 |
·热应力的计算理论 | 第36-39页 |
·有限元技术 | 第36页 |
·热量传递的方式 | 第36-37页 |
·金刚石涂层热应力有限元计算的理论基础 | 第37-39页 |
·热应力有限元模型的建立 | 第39-43页 |
·有限元模型的简化假设 | 第39-40页 |
·热应力有限元模型的建立 | 第40-43页 |
·结果分析与讨论 | 第43-48页 |
·沉积温度对热应力的影响 | 第43-44页 |
·冷却速度对热应力的影响 | 第44-45页 |
·涂层膜厚对热应力的影响 | 第45-46页 |
·刀具前角对热应力的影响 | 第46-47页 |
·刀具后角对热应力的影响 | 第47页 |
·刀尖圆弧半径对热应力的影响 | 第47-48页 |
·本章小结 | 第48-49页 |
第四章 硬质合金基体金刚石涂层沉积工艺研究 | 第49-69页 |
·引言 | 第49页 |
·HFCVD 法制备金刚石涂层的机理 | 第49-52页 |
·CVD 金刚石的成核与生长 | 第49-51页 |
·CVD 金刚石的制备过程 | 第51-52页 |
·金刚石涂层生长的影响因素 | 第52-53页 |
·碳源浓度 | 第52页 |
·表面状态 | 第52页 |
·沉积温度 | 第52-53页 |
·实验方案设计 | 第53-54页 |
·所采用的硬质合金基体 | 第53页 |
·实验方案设计 | 第53-54页 |
·实验结果与分析 | 第54-68页 |
·碳源浓度的影响 | 第54-58页 |
·沉积温度的影响 | 第58-62页 |
·沉积时间的影响 | 第62-65页 |
·反应室气压的影响 | 第65-68页 |
·本章小结 | 第68-69页 |
第五章 总结与展望 | 第69-71页 |
·总结 | 第69-70页 |
·展望 | 第70-71页 |
参考文献 | 第71-75页 |
致谢 | 第75-76页 |
在学期间发表的学术论文 | 第76页 |