| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·论文研究的背景及意义 | 第7-8页 |
| ·微光学及器件的研究和发展 | 第8-11页 |
| ·论文研究的目的和内容 | 第11-12页 |
| 第二章 双层位相光栅分束器的设计理论 | 第12-24页 |
| ·标量衍射理论 | 第12-16页 |
| ·双层位相光栅分束器的设计方法 | 第16-19页 |
| ·双层位相光栅分束器的优化计算 | 第19-24页 |
| 第三章 双层位相光栅分束器的制作 | 第24-39页 |
| ·光刻掩模的直写制作 | 第24-30页 |
| ·双层位相光栅分束器的光刻 | 第30-34页 |
| ·双层位相光栅分束器的蚀刻成型 | 第34-39页 |
| 第四章 结果及误差分析 | 第39-43页 |
| ·实验结果 | 第39-40页 |
| ·误差分析 | 第40-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 研究生期间以第一作者发表的论文 | 第47页 |