基于PMMA模具的聚合物纳米沟道热压成形
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·纳流控芯片与纳米沟道 | 第9页 |
| ·纳流控芯片的制作材料 | 第9-11页 |
| ·硅材料 | 第9-10页 |
| ·玻璃和石英 | 第10页 |
| ·高分子聚合物 | 第10-11页 |
| ·聚合物纳米沟道的制作方法 | 第11-18页 |
| ·课题的提出及工作内容 | 第18-20页 |
| ·课题研究背景与提出 | 第18-19页 |
| ·本文的工作内容 | 第19-20页 |
| 2 硅纳米模具的制作工艺研究 | 第20-30页 |
| ·硅模具制作工艺流程 | 第20-21页 |
| ·光刻工艺过程 | 第21-23页 |
| ·掩模版结构设计 | 第21-22页 |
| ·光刻参数选取 | 第22-23页 |
| ·二氧化硅及硅刻蚀工艺 | 第23页 |
| ·二氧化硅刻蚀工艺参数 | 第23页 |
| ·硅刻蚀工艺参数 | 第23页 |
| ·二氧化硅沉积过程的工艺选择 | 第23-28页 |
| ·热氧化法 | 第23-27页 |
| ·沉积法 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 3 PMMA子模的制作工艺研究 | 第30-41页 |
| ·热压成形技术 | 第30-31页 |
| ·热压装备 | 第31-33页 |
| ·热压成形机结构 | 第31页 |
| ·夹具设计 | 第31-32页 |
| ·热压实验工艺过程 | 第32-33页 |
| ·PMMA子模的制作 | 第33-39页 |
| ·试验材料 | 第33-34页 |
| ·压力对通道热压成形的影响 | 第34页 |
| ·温度对通道热压成形的影响 | 第34-38页 |
| ·PMMA的复制精度和相对标准偏差 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 4 PET纳米沟道的制作工艺研究 | 第41-52页 |
| ·实验可行性研究 | 第41页 |
| ·PET纳米沟道的制作 | 第41-44页 |
| ·实验材料 | 第41-42页 |
| ·温度对PET纳米沟道成型的影响 | 第42-43页 |
| ·PET纳米沟道的复制精度和相对标准偏差 | 第43-44页 |
| ·PMMA子模的寿命 | 第44-45页 |
| ·PDMS的浇注 | 第45-46页 |
| ·PET二维纳米沟道的制作 | 第46-50页 |
| ·硅二维纳米模具 | 第46-47页 |
| ·PMMA二维纳米模具 | 第47-49页 |
| ·PET二维纳米沟道 | 第49页 |
| ·PET二维纳米沟道的复制精度和相对标准偏差 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
