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ITO前驱物浆料的制备及工艺对薄膜性能的影响

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第一章 绪论第10-24页
   ·透明导电氧化薄膜的研究和发展概述第10-20页
     ·透明导电氧化物薄膜的研究进展第10-11页
     ·ITO晶体结构及能带理论第11-12页
     ·ITO的电学性质第12-14页
     ·ITO的光学性质第14-15页
     ·ITO的气敏性质第15页
     ·ITO薄膜的应用第15-16页
     ·ITO薄膜的制备方法第16-20页
   ·课题研究的意义与内容第20-24页
第二章 无机物前驱体法第24-60页
   ·ITO前驱物浆料的制备第24-29页
     ·实验原料和设备第24-25页
     ·ITO前驱物浆料的制备原理和流程第25-29页
     ·小结第29页
   ·ITO前驱物浆料的性能研究第29-43页
     ·分散剂对ITO前驱物浆料的影响第29-40页
     ·陈化时间对前驱物浆料的影响第40-42页
     ·小结第42-43页
   ·ITO薄膜的涂敷工艺第43-49页
     ·ITO薄膜的涂敷工艺简介第43页
     ·实验原料与设备第43-44页
     ·实验过程第44-46页
     ·涂敷工艺对ITO薄膜光电性能的影响第46-49页
     ·小结第49页
   ·热处理工艺对ITO薄膜的影响第49-52页
   ·锡掺杂对ITO薄膜的影响第52-60页
     ·锡掺杂量对ITO薄膜电性能的影响第52-55页
     ·锡掺杂量对ITO薄膜光学性能的影响第55-58页
     ·小结第58-60页
第三章 有机物前躯体法第60-80页
   ·ITO前驱物浆料的制备第60-63页
     ·实验原料和设备第60-61页
     ·ITO前驱物浆料的制备原理和流程第61-62页
     ·小结第62-63页
   ·ITO薄膜的涂敷工艺第63页
   ·ITO前躯体浆料对薄膜性能的影响第63-69页
     ·ITO前躯体浆料浓度对薄膜性能的影响第63-66页
     ·ITO前驱物浆料溶剂组成对薄膜性能的影响第66-68页
     ·小结第68-69页
   ·不同分散剂对ITO薄膜光电性能的影响第69-76页
     ·分散剂对ITO薄膜结构的影响第69-72页
     ·分散剂对ITO薄膜光电性能的影响第72-75页
     ·小结第75-76页
   ·热处理工艺对ITO薄膜电学性能的影响第76-80页
     ·在不同温度下涂敷层数与薄膜方电阻的关系第76-78页
     ·不同添加剂情况下薄膜方电阻与温度的关系第78-79页
     ·小结第79-80页
第四章 结论第80-82页
   ·无机前躯体法第80页
   ·有机前驱体法第80-82页
参考文献第82-88页
致谢第88-89页
研究成果及发表的学术论文第89-90页
作者简介第90-91页
北京化工大学 硕士研究生学位论文答辩委员会决议书第91-92页

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