面向半导体制造过程中的缺陷数据集成与分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 引言 | 第6-8页 |
| 第一节 选题依据和研究意义 | 第6页 |
| 第二节 本文研究内容及论文结构 | 第6-8页 |
| 第二章 信息集成技术综述与需求分析 | 第8-14页 |
| 第一节 需求背景与信息集成概述 | 第8页 |
| 第二节 信息集成的主要技术方法 | 第8-11页 |
| 第三节 论文中的信息集成过程 | 第11-12页 |
| 第四节 本章小结 | 第12-14页 |
| 第三章 缺陷数据信息抽取 | 第14-24页 |
| 第一节 信息抽取概述 | 第14页 |
| 第二节 缺陷信息抽取系统的构建方法 | 第14-17页 |
| 第三节 缺陷数据的具体抽取过程 | 第17-23页 |
| 第四节 本章小结 | 第23-24页 |
| 第四章 基于缺陷数据的数据挖掘 | 第24-38页 |
| 第一节 数据挖掘概论 | 第24页 |
| 第二节 聚类的意义和算法 | 第24-29页 |
| 第三节 获得重复位置点的意义和算法 | 第29-32页 |
| 第四节 多层叠加的意义和算法 | 第32-34页 |
| 第五节 算法结果的验证 | 第34-36页 |
| 第六节 本章小结 | 第36-38页 |
| 第五章 构建缺陷数据的数据仓库 | 第38-56页 |
| 第一节 数据仓库和元数据 | 第38-39页 |
| 第二节 数据仓库的特性 | 第39-40页 |
| 第三节 构建缺陷数据仓库的数据模型 | 第40-46页 |
| 第四节 缺陷数据仓库中的数据字典 | 第46-55页 |
| 第五节 本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 系统的应用与集成 | 第56-69页 |
| 第一节 系统环境的构建 | 第56-58页 |
| 第二节 系统数据流程的设计 | 第58-59页 |
| 第三节 系统的工作流程 | 第59-65页 |
| 第四节 文件系统架构 | 第65-68页 |
| 第五节 本章小结 | 第68-69页 |
| 第七章 系统验证与结果 | 第69-73页 |
| 第一节 系统环境配置 | 第69-70页 |
| 第二节 系统测试结果验证 | 第70-72页 |
| 第三节 本章小结 | 第72-73页 |
| 第八章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 第一节 工作成果 | 第73-74页 |
| 第二节 工作展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
