| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题研究的背景 | 第7页 |
| ·压电陶瓷驱动器的迟滞特性简介 | 第7-10页 |
| ·迟滞机理简介 | 第7-8页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞特性 | 第8-10页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞补偿方法研究现状 | 第10-12页 |
| ·基于模型的迟滞补偿方法 | 第10-11页 |
| ·电荷驱动法 | 第11-12页 |
| ·其他补偿方法 | 第12页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 压电陶瓷驱动器迟滞补偿方法研究 | 第13-28页 |
| ·压电陶瓷迟滞Preisach模型的建立 | 第13-18页 |
| ·Preisach迟滞模型离散算法 | 第18-22页 |
| ·逆迟滞Preisach模型离散数字算法 | 第22-24页 |
| ·Preisach模型前馈+PID反馈控制方法研究 | 第24-27页 |
| ·PID控制原理 | 第24-26页 |
| ·基于逆Preisach模型前馈+PID反馈控制 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 闭环控制系统软硬件设计 | 第28-38页 |
| ·硬件平台构建 | 第28-31页 |
| ·HP5527 双频激光干涉仪稳定性测试 | 第31页 |
| ·电容传感器的标定 | 第31-33页 |
| ·电容传感器稳定性测试 | 第33-34页 |
| ·PD-II压电陶瓷驱动电源特性测试 | 第34-35页 |
| ·迟滞补偿软件设计 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 实验及结果分析 | 第38-50页 |
| ·基于逆Preisach算子的开环控制方法实验研究 | 第38-46页 |
| ·一阶回转曲线f_(αβ)的实验测定 | 第38-40页 |
| ·基于逆Preisach算子的迟滞补偿（线性化）实验 | 第40-46页 |
| ·Preisach 模型前馈+PID反馈控制方法实验研究 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
