| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| ·等离子体微细加工 | 第11-13页 |
| ·几种常见的等离子体源 | 第13-17页 |
| ·双频容性耦合等离子体工作原理 | 第17-19页 |
| ·双频CCP等离子体的研究进展 | 第19-24页 |
| ·本文的研究内容及安排 | 第24-25页 |
| 2 射频容性耦合Ar等离子体的一维流体力学模拟 | 第25-37页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·流体力学方程 | 第25-28页 |
| ·流体力学方程数值计算方法 | 第28-29页 |
| ·数值结果及讨论 | 第29-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 双频容性耦合Ar等离子体的一维流体力学蒙特卡罗混合模拟 | 第37-58页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·Ar离子在鞘层中运动的蒙特卡洛模拟方法 | 第37-40页 |
| ·混合模拟流程 | 第40-41页 |
| ·计算结果及讨论 | 第41-52页 |
| ·气压的影响 | 第41-45页 |
| ·低频电源频率的影响 | 第45-48页 |
| ·低频电压的影响 | 第48-50页 |
| ·高频频率的影响 | 第50-52页 |
| ·Ar离子能量分布的实验验证 | 第52-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 双频CF_4放电的一维混合模型 | 第58-77页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·混合模型描述 | 第58-66页 |
| ·化学反应 | 第58-60页 |
| ·CF_4等离子体中的流体模型方程 | 第60-62页 |
| ·CF_4等离子体鞘层的蒙特卡洛模型 | 第62-66页 |
| ·结果与讨论 | 第66-76页 |
| ·等离子体密度 | 第66-69页 |
| ·CF_4放电中的离子特性 | 第69-71页 |
| ·放电参数对离子能量与角度分布的影响 | 第71-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 5 双频CF_4放电的二维混合模型 | 第77-98页 |
| ·引言 | 第77-78页 |
| ·二维混合模型描述 | 第78-79页 |
| ·计算结果与讨论 | 第79-97页 |
| ·电势与电场分布 | 第80-82页 |
| ·气压的影响 | 第82-89页 |
| ·低频电压的影响 | 第89-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 6 结论与展望 | 第98-101页 |
| ·本文主要结论 | 第98-99页 |
| ·今后工作的展望 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-107页 |
| 创新点摘要 | 第107-108页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |