MEMS静电驱动系统中非局部问题研究

中文摘要	第1-8页
英文摘要	第8-9页
第一章 前言	第9-13页
·背景介绍	第9-11页
·准备知识	第11-13页
第二章 静电驱动模型	第13-22页
·质量-弹簧模型	第13-15页
·弹性薄膜模型	第15-19页
·弹性板模型	第19-22页
第三章 模型方程解的分析	第22-39页
·D=0时,方程解的分析	第23-29页
·D≠0时,方程解的分析	第29-37页
·小结	第37-39页
总结与展望	第39-40页
参考文献	第40-43页
致谢	第43页