| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| §1.1 引言 | 第7-9页 |
| §1.2 探测器的工作原理及分类 | 第9-11页 |
| §1.3 紫外探测器研究进展 | 第11-13页 |
| §1.4 论文的研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 实验及测试原理 | 第14-25页 |
| §2.1 MOCVD外延技术 | 第14-19页 |
| §2.2 测试方法及其原理 | 第19-25页 |
| 第三章 AlGaN材料的外延实验及特性研究 | 第25-38页 |
| §3.1 外延实验 | 第25-26页 |
| §3.2 特性研究 | 第26-36页 |
| §3.3 研究结果 | 第36-38页 |
| 第四章 器件的初步研究 | 第38-45页 |
| §4.1 器件制备 | 第38-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-49页 |