| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·光子筛研究的国内外现状 | 第7-10页 |
| ·论文研究的目的和内容 | 第10-11页 |
| 第二章 衍射理论 | 第11-29页 |
| ·史历回顾 | 第11-12页 |
| ·标量衍射理论和矢量衍射理论 | 第12-15页 |
| ·基尔霍夫衍射公式 | 第15-19页 |
| ·瑞利—索末菲衍射公式 | 第19-22页 |
| ·平面波传播的角谱法 | 第22-24页 |
| ·时域有限差分算法 | 第24-29页 |
| 第三章 光子筛的理论分析模型 | 第29-54页 |
| ·菲涅耳波带片 | 第29-31页 |
| ·菲涅耳波带片的理论模型分析 | 第31-42页 |
| ·菲涅尔波带片的性能参数分析 | 第42-44页 |
| ·光子筛 | 第44-48页 |
| ·光子筛的特性分析 | 第48-54页 |
| 第四章 光子筛的设计和制作 | 第54-80页 |
| ·微光学的设计 | 第54-59页 |
| ·光子筛的设计 | 第59-63页 |
| ·微细加工技术简介 | 第63-72页 |
| ·光子筛的制作 | 第72-80页 |
| 第五章 光子筛聚焦光斑检测系统 | 第80-84页 |
| 结论 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 攻读硕士期间发表的论文和申请的专利 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-88页 |