| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-19页 |
| ·氮化硅材料的发展 | 第12页 |
| ·氮化硅的晶体结构及用途 | 第12-15页 |
| ·氮化硅的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·氮化硅的性能及用途 | 第13-15页 |
| ·氮化硅陶瓷材料的润滑 | 第15-16页 |
| ·氮化硅陶瓷材料的高温氧化 | 第16-17页 |
| ·氮化硅的氧化的热力学分析 | 第16-17页 |
| ·氮化硅的氧化的动力学研究 | 第17页 |
| ·课题的研究内容和意义 | 第17-19页 |
| 第二章 量子化学方法 | 第19-30页 |
| ·量子化学的发展 | 第19-21页 |
| ·计算方法简介 | 第21-28页 |
| ·从头计算(AB INITIO)方法 | 第21-24页 |
| ·半经验方法 | 第24页 |
| ·密度泛函理论 | 第24-26页 |
| ·基组的选择 | 第26-28页 |
| ·量子化学方法在材料表面吸附的应用 | 第28-30页 |
| 第三章 水在Β-氮化硅(0001)面吸附的密度泛函理论研究 | 第30-35页 |
| ·计算模型与方法 | 第30-32页 |
| ·计算结果与讨论 | 第32-34页 |
| ·吸附构型和吸附能 | 第32页 |
| ·MULLIKEN 净电荷 | 第32-33页 |
| ·预吸附 BH_3 对吸附的影响 | 第33页 |
| ·高温高压下的吸附情况 | 第33-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第四章 Β–氮化硅(0001)面的弛豫结构及吸附水和醇的密度泛函研究 | 第35-44页 |
| ·计算模型与方法 | 第35-38页 |
| ·计算结果与讨论 | 第38-42页 |
| ·Β–SI_3N_4(0001)弛豫构型 | 第38-39页 |
| ·水在弛豫的Β–SI_3N_4(0001)的吸附 | 第39-40页 |
| ·甲醇在弛豫的Β–SI_3N_4(0001)的吸附 | 第40-41页 |
| ·乙醇在弛豫的Β–SI_3N_4(0001)的吸附 | 第41页 |
| ·乙二醇在弛豫的Β–SI_3N_4(0001)的吸附 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-44页 |
| 第五章 氧在Β–氮化硅(0001)面吸附的密度泛函理论研究 | 第44-49页 |
| ·计算模型与方法 | 第44-45页 |
| ·计算结果与讨论 | 第45-47页 |
| ·吸附构型和吸附能 | 第45-46页 |
| ·MULLIKEN 净电荷，重叠布居及振动频率分析 | 第46-47页 |
| ·自然布居分析 | 第47页 |
| ·温度的影响 | 第47页 |
| ·小结 | 第47-49页 |
| 结论与展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附录 A(攻读学位期间发表论文目录) | 第60页 |
