| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·薄膜生长模式 | 第9-10页 |
| ·薄膜生长的原子过程 | 第10-12页 |
| ·薄膜生长的理论和计算机模拟 | 第12-15页 |
| ·平均场理论 | 第12-13页 |
| ·动力学蒙特卡罗模拟 | 第13-15页 |
| ·本文的工作 | 第15-17页 |
| 第二章 亚单层外延薄膜的生长 | 第17-33页 |
| ·扩散限制聚集(DLA)理论 | 第17-18页 |
| ·各向同性生长的二维岛的构型 | 第18-24页 |
| ·STM实验观察结果 | 第18页 |
| ·生长模型 | 第18-20页 |
| ·模拟结果 | 第20-24页 |
| ·岛各向异性生长的动力学机制 | 第24-33页 |
| ·STM实验观察结果 | 第24-25页 |
| ·改进的生长模型 | 第25-27页 |
| ·模拟结果 | 第27-29页 |
| ·二维岛构型及其分布的定量表征 | 第29-33页 |
| 第三章 单层表面剂诱导的外延生长 | 第33-59页 |
| ·反应限制聚集(RLA)理论 | 第33-36页 |
| ·表面剂诱导外延 | 第33-34页 |
| ·表面剂诱导外延中二维岛构型的实验观察 | 第34-35页 |
| ·RLA模型 | 第35-36页 |
| ·正方衬底上的分形及规则团状生长 | 第36-42页 |
| ·生长模型 | 第36-37页 |
| ·岛形状和密度的演变 | 第37-42页 |
| ·与RLA模型的比较 | 第42页 |
| ·六角衬底上的各向异性生长 | 第42-47页 |
| ·非对称岛边缘交换过程 | 第42-44页 |
| ·各向异性的分枝和团状生长 | 第44-47页 |
| ·形核转变及核密度的标度行为 | 第47-54页 |
| ·扩散-交换-再换位生长模型 | 第47-48页 |
| ·速率方程分析 | 第48-50页 |
| ·动力学蒙特卡罗模拟 | 第50-53页 |
| ·相关问题的讨论 | 第53-54页 |
| ·可逆的聚集生长 | 第54-59页 |
| ·扩展的扩散-交换-再换位模型 | 第54-55页 |
| ·KMC模拟结果 | 第55-59页 |
| 第四章 再构表面纳米团簇的生长 | 第59-71页 |
| ·Si(111)7×7再构表面结构 | 第59-60页 |
| ·Si(111)7×7衬底上团簇密度的演变规律 | 第60-65页 |
| ·STM实验观察结果 | 第60-62页 |
| ·KMC模型 | 第62-63页 |
| ·模拟结果 | 第63-65页 |
| ·Si(111)7×7层错半单胞优先吸附的动力学机制 | 第65-71页 |
| ·STM实验观察结果 | 第65-67页 |
| ·KMC模拟 | 第67-71页 |
| 第五章 表面生长的元胞自动机模拟 | 第71-85页 |
| ·元胞自动机 | 第71-73页 |
| ·圆周元胞自动机(CCA)及其演变行为 | 第73-76页 |
| ·CCA模型 | 第73-74页 |
| ·CCA的演化图形 | 第74-75页 |
| ·CCA的时间演变 | 第75-76页 |
| ·螺旋元胞自动机(HCA)及其演变行为 | 第76-85页 |
| ·HCA模型 | 第76-78页 |
| ·HCA随螺旋周长的演变 | 第78-80页 |
| ·HCA随生长高度的演变 | 第80-85页 |
| 第六章 总结 | 第85-89页 |
| 参考文献 | 第89-99页 |
| 攻读博士学位期间发表和待发表的论文 | 第99-101页 |
| 致谢 | 第101页 |