| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第一章 前言 | 第13-34页 |
| ·概述 | 第13页 |
| ·ZnO 的晶体结构及薄膜的优点 | 第13-14页 |
| ·ZnO 薄膜制备方法 | 第14-18页 |
| ·磁控溅射工艺(Megnetron Sputtering) | 第15-16页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第16页 |
| ·脉冲激光沉积（PLD）工艺 | 第16-17页 |
| ·分子束外延 | 第17-18页 |
| ·金属有机化合物气相沉积 | 第18页 |
| ·ZnO 薄膜的应用研究 | 第18-23页 |
| ·ZnO 薄膜集成光学上的应用 | 第19-20页 |
| ·ZnO 薄膜在压电器件方面的应用 | 第20-23页 |
| ·ZnO 薄膜性能的研究进展 | 第23-26页 |
| ·ZnO 薄膜的定向性研究 | 第23-24页 |
| ·ZnO 薄膜的掺杂研究 | 第24-25页 |
| ·ZnO 薄膜的光电性能研究 | 第25-26页 |
| ·低维纳米ZnO 材料的研究进展 | 第26-27页 |
| ·本课题的提出及研究内容 | 第27-29页 |
| 本章参考文献 | 第29-34页 |
| 第二章 Sol-gel 法工艺的确定 | 第34-41页 |
| ·溶胶－凝胶体系的选用 | 第34页 |
| ·溶胶配制与薄膜制备工艺 | 第34-36页 |
| ·热处理温度的确定 | 第36-38页 |
| ·旋涂制度的确定 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40页 |
| 本章参考文献 | 第40-41页 |
| 第三章 Li、Mg 掺杂对sol－gel 法制备的 ZnO 薄膜性能的影响 | 第41-66页 |
| ·引言 | 第41-43页 |
| ·实验过程 | 第43-44页 |
| ·结果与讨论 | 第44-63页 |
| ·掺杂对ZnO 薄膜性能的影响 | 第44-54页 |
| ·制备工艺参数对 ZnO 薄膜性能的影响 | 第54-61页 |
| ·薄膜发光性能的研究 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 本章参考文献 | 第64-66页 |
| 第四章 RF 磁控溅射法制备不同择优取向的ZnO 薄膜 | 第66-82页 |
| ·引言 | 第66-67页 |
| ·实验过程 | 第67页 |
| ·结果与讨论 | 第67-80页 |
| ·磁控溅射功率对 ZnO 薄膜定向性的影响 | 第67-70页 |
| ·基片温度对ZnO 薄膜定向性的影响 | 第70-72页 |
| ·热处理温度对ZnO 薄膜定向性的影响 | 第72-74页 |
| ·从不同制备条件下ZnO 薄膜晶胞参数的变化讨论ZnO 薄膜的定向机理 | 第74-75页 |
| ·不同取向ZnO 薄膜的表面形貌 | 第75-78页 |
| ·制备条件对ZnO 薄膜电阻率的影响 | 第78-79页 |
| ·Si（111）基片上制备ZnO 薄膜的对比研究 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80页 |
| 本章参考文献 | 第80-82页 |
| 第五章 不同择优取向 ZnO 薄膜发光性能的研究 | 第82-94页 |
| ·引言 | 第82-83页 |
| ·实验过程 | 第83页 |
| ·结果与讨论 | 第83-91页 |
| ·不同择优取向的 ZnO 薄膜的透过率与光学禁带宽度的研究 | 第83-87页 |
| ·不同择优取向ZnO 薄膜的PL 谱研究 | 第87-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 本章参考文献 | 第92-94页 |
| 第六章 过渡层对 ZnO 薄膜性能的影响 | 第94-110页 |
| ·引言 | 第94-95页 |
| ·实验过程 | 第95-96页 |
| ·结果与讨论 | 第96-107页 |
| ·过渡层种类对ZnO 薄膜性能的影响 | 第96-101页 |
| ·RF 功率对Mg:ZnO 过渡层的ZnO 薄膜的性能影响 | 第101-104页 |
| ·基片温度对Mg:ZnO 过渡层上的ZnO 薄膜的性能影响 | 第104-105页 |
| ·热处理温度对Mg:ZnO 过渡层上的ZnO 薄膜的性能影响 | 第105-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 本章参考文献 | 第108-110页 |
| 第七章 实验中一些特殊现象的探讨 | 第110-119页 |
| ·概述 | 第110页 |
| ·ZnO 纳米棒阵列的探讨 | 第110-114页 |
| ·含过渡层薄膜表面的一些特殊现象探讨 | 第114-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 本章参考文献 | 第118-119页 |
| 第八章 总结 | 第119-122页 |
| ·主要结论与创新点 | 第119-121页 |
| ·未来工作展望 | 第121-122页 |
| 作者在攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第122-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 博硕士学位论文同意发表声明 | 第124-125页 |
| 发表意见书 | 第125页 |
