溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌靶材研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-27页 |
| ·透明导电薄膜的研究进展及应用 | 第8-10页 |
| ·透明导电薄膜的应用 | 第8-9页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的研究进展 | 第9-10页 |
| ·掺铝氧化锌（AZO）薄膜光电性能 | 第10-14页 |
| ·AZO 薄膜的电学性质 | 第11-12页 |
| ·AZO 薄膜的光学性质 | 第12页 |
| ·AZO 薄膜的制备工艺 | 第12-14页 |
| ·靶材发展概况与研究进展 | 第14-20页 |
| ·靶材的应用与现状 | 第14-17页 |
| ·靶材的分类与性能表征 | 第17-19页 |
| ·陶瓷靶材的制备方法 | 第19-20页 |
| ·超细粉体原料 | 第20-25页 |
| ·超细粉体原料制备方法 | 第21-22页 |
| ·溶胶-凝胶法制备超细粉体 | 第22-23页 |
| ·超细粉体特性要求 | 第23-25页 |
| ·本课题的研究目的及研究内容 | 第25-27页 |
| 2 试验设备、试剂与表征方法 | 第27-30页 |
| ·试验试剂 | 第27页 |
| ·试验仪器 | 第27-28页 |
| ·试验表征方法 | 第28-30页 |
| ·四探针测试仪 | 第28页 |
| ·排水法称量天平 | 第28-29页 |
| ·XRD 物相分析 | 第29页 |
| ·SEM 分析 | 第29-30页 |
| 3 溶胶-凝胶法制备Al-ZnO 复合粉体 | 第30-40页 |
| ·前言 | 第30页 |
| ·试验流程 | 第30-31页 |
| ·溶胶-凝胶法工艺条件的影响及分析 | 第31-37页 |
| ·溶剂浓度的影响 | 第31-32页 |
| ·络合剂用量的影响 | 第32页 |
| ·反应温度的影响 | 第32-33页 |
| ·凝胶干燥温度的影响 | 第33页 |
| ·络合剂与pH 值的影响 | 第33-37页 |
| ·球磨的影响 | 第37页 |
| ·粉体的微观形貌分析 | 第37-38页 |
| ·粉体的物相分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 常压烧结法制备AZO 靶材 | 第40-56页 |
| ·前言 | 第40页 |
| ·试验流程 | 第40-42页 |
| ·试验结果及分析 | 第42-50页 |
| ·成型压力的影响 | 第42-45页 |
| ·烧结曲线的确定 | 第45-47页 |
| ·烧结保温时间的影响 | 第47-50页 |
| ·靶材性能对比试验 | 第50-52页 |
| ·靶材宏观缺陷分析 | 第52-54页 |
| ·靶材黑点 | 第52-53页 |
| ·靶材鼓泡 | 第53页 |
| ·靶材裂纹 | 第53-54页 |
| ·AZO 靶材物相分析 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
