| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·半导体激光器准直 | 第8-15页 |
| ·微透镜阵列 | 第15-21页 |
| 2 准直微透镜阵列的设计原理 | 第21-35页 |
| ·矩阵光学 | 第21-26页 |
| ·基横模高斯光束 | 第26-29页 |
| ·二元光学 | 第29-35页 |
| 3 准直微透镜阵列的设计实例 | 第35-50页 |
| ·透镜设计 | 第35-36页 |
| ·两种形式的微透镜的ABCD 矩阵 | 第36-40页 |
| ·热熔折射微透镜的制作参数设计 | 第40-43页 |
| ·折射微透镜设计结果 | 第43-47页 |
| ·衍射微透镜的设计 | 第47-50页 |
| 4 微透镜制作与性能 | 第50-69页 |
| ·光致抗蚀剂图形的形成 | 第50-55页 |
| ·反应离子刻蚀研究 | 第55-65页 |
| ·结果与讨论 | 第65-69页 |
| 5 总结与展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第77页 |