| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章绪论 | 第7-12页 |
| ·压电陶瓷的应用现状 | 第7-8页 |
| ·课题的来源及背景 | 第8-11页 |
| ·论文的内容安排 | 第11-12页 |
| 第二章铙钹型压电陶瓷作动器 | 第12-20页 |
| ·Cymbal型压电陶瓷作动器的结构 | 第12-14页 |
| ·铙钹型压电作动器驱动电源的设计 | 第14-17页 |
| ·实验结果分析 | 第17-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 电荷反馈控制理论研究 | 第20-29页 |
| ·电荷反馈控制的原理 | 第20-23页 |
| ·理论模型的局限与改进 | 第23-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 基于压电陶瓷电荷反馈控制的二维微进给工作台设计 | 第29-52页 |
| ·二维微进给工作台总体设计 | 第29-34页 |
| ·压电陶瓷电荷反馈控制驱动器设计 | 第34-38页 |
| ·控制电路其他部分硬件设计 | 第38-46页 |
| ·系统软件设计 | 第46-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 结论与展望 | 第52-54页 |
| ·铙钹型压电作动器研究的结论与展望 | 第52-53页 |
| ·压电陶瓷电荷反馈控制技术研究的结论与展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 附录A 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第57-58页 |
| 附录B 控制器机箱设计图纸 | 第58页 |