压电陶瓷管扫描器非线性校正
| 第一章 引言 | 第1-19页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第6-9页 |
| ·压电陶瓷管扫描器工作特性 | 第9-12页 |
| ·压电陶瓷非线性校正国内外的研究现状 | 第12-17页 |
| ·本课题的研究意义及主要任务 | 第17-19页 |
| 第二章 课题设计基本原理 | 第19-26页 |
| ·激光干涉法精密位移测量原理 | 第19-24页 |
| ·干涉的基本概念与原理 | 第19-23页 |
| ·干涉条件 | 第19页 |
| ·相干光的获得 | 第19-20页 |
| ·等倾干涉与等厚干涉 | 第20-23页 |
| ·激光干涉测长仪工作原理 | 第23-24页 |
| ·迈克尔逊干涉仪 | 第23-24页 |
| ·测长原理 | 第24页 |
| ·扫描软件修正原理 | 第24-26页 |
| 第三章 实验装置设计与实验测量方法 | 第26-40页 |
| ·非线性曲线测量装置的设计 | 第26-29页 |
| ·非线性曲线的测定 | 第29-34页 |
| ·系统防振措施 | 第29页 |
| ·光路调试 | 第29-31页 |
| ·数据测定 | 第31-34页 |
| ·软件设计 | 第34-40页 |
| ·驱动电压软件设计 | 第34-37页 |
| ·PC7464简介 | 第34-35页 |
| ·控制箱 | 第35-37页 |
| ·驱动电压控制软件 | 第37页 |
| ·扫描校正软件设计 | 第37-40页 |
| ·Nspm-6800扫描控制软件 | 第37-38页 |
| ·扫描校正软件 | 第38-40页 |
| 第四章 实验结果与分析 | 第40-61页 |
| ·扫描管参数 | 第40页 |
| ·非线性曲线 | 第40-48页 |
| ·拟合曲线 | 第48-58页 |
| ·驱动电压波形 | 第58-59页 |
| ·扫描校正实验 | 第59页 |
| ·实验结果分析 | 第59-61页 |
| 第五章 课题总结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 课题研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 论文答辩说明 | 第67页 |
| 关于论文使用授权的说明 | 第67页 |
