纳米精度测量与校准系统关键技术研究
| 第1章 绪论 | 第1-34页 |
| ·纳米精度测量技术及其发展 | 第12-16页 |
| ·纳米精度测量学应用背景 | 第12-13页 |
| ·外差式激光干涉仪测量技术 | 第13-16页 |
| ·纳米计量学及其发展 | 第16-23页 |
| ·X射线干涉测量技术 | 第16-18页 |
| ·计量型扫描探针显微镜 | 第18-19页 |
| ·激光干涉纳米精度校准技术 | 第19-21页 |
| ·纳米测量环境的建立 | 第21-23页 |
| ·纳米精度测量与校准关键技术 | 第23-27页 |
| ·柔性铰链微位移驱动系统研究 | 第23-24页 |
| ·测试系统运动误差实时修正技术 | 第24-26页 |
| ·激光干涉误差修正技术研究 | 第26-27页 |
| ·本文研究背景及研究内容 | 第27-29页 |
| ·研究背景 | 第27-28页 |
| ·研究内容及研究方法 | 第28-29页 |
| 本章小结 | 第29页 |
| 参考文献 | 第29-34页 |
| 第2章 纳米精度测量与校准系统误差源分析 | 第34-47页 |
| ·多级位移驱动定位坐标测量系统 | 第34-36页 |
| ·X-Y运动导轨误差 | 第36-38页 |
| ·直线运动误差 | 第36-37页 |
| ·运动转角误差 | 第37-38页 |
| ·柔性铰链工作台运动误差 | 第38-39页 |
| ·柔性铰链直线运动误差 | 第38-39页 |
| ·柔性铰链运动转角误差 | 第39页 |
| ·坐标轴系正交误差和瞄准误差 | 第39-40页 |
| ·力和热变形误差源分析 | 第40-41页 |
| ·运动误差数学模型简化表示 | 第41-44页 |
| 本章小结 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 第3章 相位偏移干涉运动转角测量技术研究 | 第47-80页 |
| ·概述 | 第47-48页 |
| ·相位偏移干涉测量技术 | 第48-52页 |
| ·相位偏移干涉原理 | 第48-49页 |
| ·相位偏移干涉相位计算方法 | 第49-52页 |
| ·移相误差对相位计算的影响 | 第52-60页 |
| ·相位偏移干涉误差源分析 | 第52-54页 |
| ·移相误差对相位计算结果的影响 | 第54-58页 |
| ·五幅算法移相误差分析 | 第58-60页 |
| ·移相误差的实时补偿方法 | 第60-64页 |
| ·四幅加权平均优化补偿方法 | 第60页 |
| ·四幅算法移相误差补偿 | 第60-62页 |
| ·五幅算法移相误差补偿 | 第62-64页 |
| ·移相误差补偿试验 | 第64-73页 |
| ·测量系统原理及试验设备 | 第64-65页 |
| ·干涉图像处理技术 | 第65-68页 |
| ·一阶移相误差补偿试验 | 第68-69页 |
| ·二阶移相误差补偿试验 | 第69-72页 |
| ·试验结果分析 | 第72-73页 |
| ·相位偏移干涉测角技术 | 第73-75页 |
| ·转角误差校准系统 | 第74-75页 |
| ·转角测量试验 | 第75页 |
| 本章小结 | 第75-76页 |
| 本章附录 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-80页 |
| 第4章 外差干涉仪非线性误差修正技术 | 第80-118页 |
| ·概述 | 第80-83页 |
| ·外差干涉非线性误差分析 | 第83-90页 |
| ·位相延迟误差与不等幅偏差 | 第83-84页 |
| ·偏振分光棱镜引起频率泄漏 | 第84-85页 |
| ·角锥棱镜引起的误差 | 第85-86页 |
| ·非线性误差数学模型 | 第86-90页 |
| ·相位测量误差分析 | 第90-94页 |
| ·直流分量偏差的影响 | 第90-91页 |
| ·等幅性误差对测量结果的影响 | 第91-92页 |
| ·正交误差对测量结果的影响 | 第92-93页 |
| ·正弦性对测量结果的影响 | 第93-94页 |
| ·外差干涉非线性误差修正技术 | 第94-101页 |
| ·Birch数据修正技术 | 第94-95页 |
| ·非线性误差修正方法 | 第95-97页 |
| ·数据模拟试验结果 | 第97-101页 |
| ·非线性数据修正试验 | 第101-113页 |
| ·试验系统 | 第101-103页 |
| ·混频电路 | 第103页 |
| ·纳米微位移模拟产生装置 | 第103-106页 |
| ·试验过程 | 第106-107页 |
| ·试验结果 | 第107-108页 |
| ·误差修正结果 | 第108-111页 |
| ·试验结果分析 | 第111-113页 |
| 本章小结 | 第113页 |
| 本章附录 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-118页 |
| 第5章 柔性铰链结构参数对其运动误差的影响 | 第118-145页 |
| ·概述 | 第118-119页 |
| ·柔性铰链结构参数设计 | 第119-129页 |
| ·柔性铰链结构理论模型 | 第119-121页 |
| ·复合式悬臂梁有限元建模 | 第121-123页 |
| ·柔性铰链模态分析 | 第123-124页 |
| ·柔性铰链静态力分析 | 第124-129页 |
| ·二维柔性铰链结构性能研究 | 第129-133页 |
| ·简单二维柔性铰链结构与性能 | 第129-131页 |
| ·十字对称结构柔性铰链结构设计 | 第131-133页 |
| ·二维柔性铰链工作台运动试验测试 | 第133-142页 |
| ·激光干涉测试定位误差 | 第134-137页 |
| ·相位偏移干涉测试运动转角误差 | 第137-140页 |
| ·光电自准直仪测试运动偏摆角 | 第140-142页 |
| 本章小结 | 第142-143页 |
| 参考文献 | 第143-145页 |
| 第6章 结论与展望 | 第145-149页 |
| ·论文结论 | 第145-147页 |
| ·课题进一步工作 | 第147页 |
| ·纳米测量与计量技术展望 | 第147-149页 |
| 攻读博士学位期间发表论文及工作成绩 | 第149-151页 |
| 致谢 | 第151-153页 |
