| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-20页 |
| ·低温等离子体的概述 | 第9-10页 |
| ·射频等离子体放电 | 第10-15页 |
| ·容性耦合等离子体放电 | 第10-11页 |
| ·螺旋波等离子体放电 | 第11-12页 |
| ·感性耦合等离子体放电 | 第12-13页 |
| ·双频耦合等离子体放电 | 第13-15页 |
| ·容性耦合等离子体特性的研究现状 | 第15-18页 |
| ·本文研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 容性耦合放电实验装置及其诊断技术 | 第20-32页 |
| ·容性耦合等离子体腔体 | 第20-21页 |
| ·射频匹配网络 | 第21-22页 |
| ·静电探针诊断 | 第22-29页 |
| ·静电探针的结构及测量 | 第22-26页 |
| ·探针诊断等离子体参量数的计算方法 | 第26-29页 |
| ·罗果夫斯基线圈 | 第29-32页 |
| ·罗氏线圈的结构 | 第29-30页 |
| ·罗氏线圈的原理 | 第30-32页 |
| 第三章 容性耦合等离子体放电电学特性测量 | 第32-38页 |
| ·不同激发频率下射频电压与射频输入功率的关系 | 第32-34页 |
| ·不同激发频率下射频电流与Ar放电气压的关系 | 第34-35页 |
| ·激发频率、放电气压和射频功率对极板自偏压的影响 | 第35-38页 |
| 第四章 60MHZ 条件下不同气压、不同功率放电电学特性 | 第38-50页 |
| ·双频输入功率对自偏压的影响 | 第38-40页 |
| ·60MHZ 激发频率下容性耦合等离子体的电学特性 | 第40-42页 |
| ·60MHZ 容性耦合放电NE、TE、E-N 碰撞频率等与气压的关系 | 第42-45页 |
| ·60MHZ 容性耦合放电的电子能量几率分布函数(EEPF) | 第45-47页 |
| ·EEPF 由M-氏分布向D-氏分布转变的解释 | 第47-50页 |
| 第五章 总结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
