挤出平模头抛光加工机理与工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 符号说明 | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| ·选题背景及研究意义 | 第11-12页 |
| ·超精密平面加工技术 | 第12-18页 |
| ·超精密切削 | 第13页 |
| ·超精密磨削 | 第13-15页 |
| ·超精密研磨和抛光 | 第15-18页 |
| ·挤出平模头抛光技术国内外研究现状 | 第18-24页 |
| ·化学机械抛光加工工艺的研究现状 | 第18-21页 |
| ·化学机械抛光材料去除机理研究现状 | 第21-22页 |
| ·大尺寸工件抛光技术研究现状 | 第22-24页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第2章 挤出平模头材料可加工性研究 | 第25-33页 |
| ·塑料模具钢的材料特性 | 第25-26页 |
| ·材料可加工性试验 | 第26-30页 |
| ·加工实验系统 | 第26-28页 |
| ·试验步骤设计 | 第28-29页 |
| ·加工效果检测 | 第29-30页 |
| ·试验结果分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 挤出平模头抛光设备的研制 | 第33-51页 |
| ·挤出平模头抛光设备总体设计方案 | 第33-35页 |
| ·超精密抛光机床的设计要求 | 第33页 |
| ·挤出平模头自动抛光工艺要求 | 第33-34页 |
| ·挤出平模头抛光设备设计方案 | 第34-35页 |
| ·平模头抛光设备结构设计 | 第35-37页 |
| ·控制系统设计 | 第37-46页 |
| ·抛光盘横向运动控制 | 第39-41页 |
| ·抛光盘转速控制 | 第41-43页 |
| ·控制系统开发 | 第43-46页 |
| ·工艺实施策略 | 第46-47页 |
| ·设备制造与系统调试 | 第47-49页 |
| ·机械部件调试 | 第48页 |
| ·控制系统运行模式调试 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 挤出平模头抛光加工机理研究 | 第51-67页 |
| ·金属CMP模型描述 | 第51-53页 |
| ·材料去除机理分析 | 第53-59页 |
| ·游离磨粒力学模型 | 第53-54页 |
| ·磨粒切入深度模型 | 第54-57页 |
| ·材料去除效率模型 | 第57-59页 |
| ·挤出平模头平面成形机理 | 第59-66页 |
| ·普林斯顿(Preston)假设 | 第59-61页 |
| ·按进化原理形成局部表面 | 第61-62页 |
| ·全平面形成过程 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 挤出平模头抛光加工工艺实验及分析 | 第67-78页 |
| ·挤出平模头抛光加工实验 | 第67-71页 |
| ·加工实验系统 | 第67-68页 |
| ·加工实验设计 | 第68-69页 |
| ·加工效果检测 | 第69-71页 |
| ·试验结果分析 | 第71-74页 |
| ·工艺参数对材料去除率的影响 | 第72-73页 |
| ·工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第73-74页 |
| ·抛光过程中需要注意的问题 | 第74-75页 |
| ·优化的挤出平模头抛光加工工艺 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第6章 总结与展望 | 第78-80页 |
| ·研究总结 | 第78-79页 |
| ·课题展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第86页 |
