基于子孔径拼接的非球面检测方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·非球面检测研究现状 | 第9-15页 |
| ·补偿法 | 第9-10页 |
| ·全息法 | 第10-12页 |
| ·子孔径拼接法 | 第12-15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 子孔径拼接干涉检测基本原理 | 第16-25页 |
| ·子孔径拼接基本原理 | 第16-17页 |
| ·子孔径拼接的分类 | 第17-21页 |
| ·子孔径形状分类 | 第17-19页 |
| ·拼接模式分类 | 第19-21页 |
| ·子孔径拼接算法的原理 | 第21-24页 |
| ·两两拼接算法原理 | 第21-23页 |
| ·全局误差均化算法原理 | 第23-24页 |
| ·局部误差均化算法原理 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 非球面子孔径拼接检测系统设计 | 第25-42页 |
| ·非球面检测机构设计 | 第25-30页 |
| ·非球面合成检测机构 | 第25-28页 |
| ·大口径近平面非球面检测机构 | 第28-29页 |
| ·小口径深度凹非球面检测机构 | 第29-30页 |
| ·非球面检测流程设计 | 第30-36页 |
| ·子孔径划分模式的优化 | 第31-35页 |
| ·检测机构的运动规划 | 第35-36页 |
| ·非球面检测系统的误差修正 | 第36-41页 |
| ·标准球面波前误差修正 | 第36-37页 |
| ·机构运动调整误差修正 | 第37-40页 |
| ·成像畸变误差修正 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 子孔径拼接干涉检测算法 | 第42-54页 |
| ·拼接算法的预处理 | 第42-48页 |
| ·子孔径波面拟合预处理 | 第42-44页 |
| ·子孔径定位变换预处理 | 第44-48页 |
| ·拼接算法的研究 | 第48-50页 |
| ·拼接算法的程序设计 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 子孔径拼接干涉检测实验与分析 | 第54-63页 |
| ·平面子孔径拼接检测原理验证试验 | 第54-57页 |
| ·非球面子孔径拼接检测原理验证实验 | 第57-60页 |
| ·子孔径拼接干涉检测的误差分析 | 第60-62页 |
| ·干涉仪误差 | 第60-61页 |
| ·机械误差 | 第61页 |
| ·拼接方法误差 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
