| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-14页 |
| ·研究背景 | 第6-7页 |
| ·大气压辉光放电的原理和进展 | 第7-9页 |
| ·大气压放电的装置和诊断 | 第9-10页 |
| ·辉光放电的获得和诊断 | 第10-11页 |
| ·射频大气压放电研究意义 | 第11页 |
| ·射频大气压放电的研究现状和存在的问题 | 第11-12页 |
| ·本课题提出的意义和研究内容 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 实验设备和诊断仪器 | 第14-19页 |
| ·RF放电的基本特性 | 第14-15页 |
| ·RF大气压放电的应用 | 第15-16页 |
| ·RF大气压放电的诊断 | 第16-18页 |
| ·本实验装置及参数 | 第18-19页 |
| 第三章 实验结果及分析 | 第19-47页 |
| ·大气压下氩气射频放电研究 | 第19-32页 |
| ·混合气体时RF大气放电的研究 | 第32-41页 |
| ·射频大气压氩气介质阻挡放电斑图研究 | 第41-43页 |
| ·大气压RF-DBD中的Lissajous图型研究 | 第43-44页 |
| ·温度对放电的影响 | 第44-45页 |
| ·射频大气压氧化硅的合成 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 总结 | 第47-49页 |
| ·本文主要研究成果与结论 | 第47页 |
| ·进一步工作的展望 | 第47-48页 |
| ·本文的创新之处 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |