| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-22页 |
| ·氧化钛的晶体结构和基本性质 | 第9-12页 |
| ·TiO_2的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·能带理论以及TiO_2的能带结构 | 第10-12页 |
| ·光电探测器 | 第12-20页 |
| ·半导体光电探测器一些重要的特性参数 | 第12-15页 |
| ·光子探测器的分类与特性 | 第15-17页 |
| ·几种最常用的光伏探测器 | 第17-20页 |
| ·选题依据和论文内容 | 第20-22页 |
| 第2章 薄膜的制备方法和相关表征手段 | 第22-36页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第22-27页 |
| ·原子层沉积法 | 第22-24页 |
| ·磁控溅射技术 | 第24-26页 |
| ·常规真空热蒸发 | 第26-27页 |
| ·紫外探测器件的制备工艺 | 第27-29页 |
| ·金属电极的溅射 | 第27页 |
| ·光刻过程 | 第27-29页 |
| ·薄膜性质表征手段介绍 | 第29-34页 |
| ·X射线衍射谱 | 第29-30页 |
| ·光谱测量 | 第30-31页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第31-32页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第32-34页 |
| ·光电探测器件性能测试方法介绍 | 第34-36页 |
| ·光谱响应曲线测量系统 | 第34页 |
| ·常规电学测量操作规程 | 第34-36页 |
| 第3章 氧化钛金属-绝缘层-半导体-绝缘层-金属(MISIM)结构探测器的制备与特性 | 第36-43页 |
| ·强电场下的热载流子效应 | 第36-37页 |
| ·氧化钛金属-绝缘氧化物-半导体-绝缘氧化物-金属(MISIM)结构紫外探测器的制备 | 第37-38页 |
| ·氧化钛金属-绝缘氧化物-半导体-绝缘氧化物-金属(MISIM)结构紫外探测器的性能研究 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 n-Si/n-TiO_2型同型异质结光伏效应器件 | 第43-50页 |
| ·异质结的概述 | 第43-44页 |
| ·异质结的光伏效应 | 第44-45页 |
| ·n-Si/n-TiO_2同型异质结光伏器件的制备 | 第45-46页 |
| ·n-Si/n-TiO_2同型异质结光伏器件的光电性质研究 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 全文总结与展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 个人简历及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第56页 |
