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三维表面粗糙度测量的关键技术研究

摘要第1-3页
ABSTRACT第3-8页
第1章 绪论第8-22页
   ·引言第8-11页
   ·三维表面粗糙度测量方法的比较第11-18页
     ·接触式测量第11-12页
     ·非接触式测量第12-17页
     ·测量方法比较结果第17-18页
   ·国内外研究现状第18-19页
   ·课题研究的目的与意义第19-20页
   ·课题来源及主要研究内容第20-22页
第2章 三维表面粗糙度激光三角法测量原理研究第22-30页
   ·激光三角法基本原理第22-25页
     ·直射式第22-24页
     ·对称斜射式第24-25页
   ·直射式和对称斜射式方法比较分析第25-26页
   ·激光三角法测头光路结构参数设计第26-29页
   ·三维表面粗糙度测量的三角法分析第29页
   ·本章小结第29-30页
第3章 三维表面粗糙度测量仪结构及工作原理第30-50页
   ·硬件系统结构组成第30-45页
     ·CCD 激光测头组件第31-33页
     ·气浮式X-Y 工作台第33-43页
     ·立柱第43-45页
   ·控制系统工作原理第45-47页
   ·系统扫描方式第47-48页
   ·本章小结第48-50页
第4章 表面粗糙度三维参数评定的研究第50-68页
   ·三维粗糙度评定概述第50页
   ·三维参数最小二乘评定基准面的建立方法第50-59页
     ·最小二乘平面基准第53-55页
     ·最小二乘圆柱面基准第55-57页
     ·最小二乘圆锥面基准第57-58页
     ·最小二乘球面基准第58-59页
   ·表面粗糙度三维评定参数第59-66页
   ·三维评定参数的选用第66页
   ·本章小结第66-68页
第5章 数据处理与实验分析第68-78页
   ·数据处理系统第68-71页
   ·实验结果与分析第71-78页
第6章 总结第78-80页
参考文献第80-84页
致谢第84-85页
攻读硕士学位期间的研究成果第85页

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