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不同晶格位掺杂以及梯度掺杂CaCu3Ti4O12薄膜的制备及其电性能研究

摘要第5-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第11-23页
    1.1 引言第11页
    1.2 电容-压敏材料概述第11-16页
        1.2.1 电容器材料简述第11-13页
        1.2.2 压敏电阻材料简述第13-15页
        1.2.3 电容-压敏原理第15页
        1.2.4 电容-压敏材料的发展第15-16页
    1.3 CaCu_3Ti_4O_(12)材料简介以及研究现状第16-20页
        1.3.1 CaCu_3Ti_4O_(12)的晶体结构第16-17页
        1.3.2 CaCu_3Ti_4O_(12)的巨介电性第17-18页
        1.3.3 CaCu_3Ti_4O_(12)的压敏特性第18页
        1.3.4 CaCu_3Ti_4O_(12)的国内外研究现状第18-20页
    1.4 梯度薄膜理论简介第20-21页
    1.5 本论文研究的目的、主要内容第21-23页
        1.5.1 本论文研究的目的第21-22页
        1.5.2 本论文研究的主要内容第22-23页
第二章 CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的制备与电性能第23-35页
    2.1 引言第23页
    2.2 实验内容与方法第23-26页
        2.2.1 实验所需原料第23页
        2.2.2 实验所用仪器设备第23-24页
        2.2.3 CaCu_3Ti_4O_(12)前驱体溶胶的制备第24-25页
        2.2.4 单晶Si基底的清洗第25页
        2.2.5 薄膜的制备第25页
        2.2.6 薄膜的测试表征第25-26页
    2.3 CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜烧结温度的确定第26-30页
    2.4 CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的介电性能第30-32页
    2.5 CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的压敏性能第32-34页
    2.6 本章小结第34-35页
第三章 A'位Y掺杂以及梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的研究第35-51页
    3.1 引言第35页
    3.2 实验内容与方法第35-36页
        3.2.1 实验所需原料第35-36页
        3.2.2 Ca_(1-3/2x)Y_xCu_3Ti_4O_(12)前驱体溶胶的制备第36页
    3.3 A'位Y掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微结构以及电性能研究第36-46页
        3.3.1 Ca_(1-3/2x)Y_xCu_3Ti_4O_(12)薄膜的物相分析第36-37页
        3.3.2 Ca_(1-3/2x)Y_xCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微形貌分析第37-39页
        3.3.3 Ca_(1-3/2x)Y_xCu_3Ti_4O_(12)薄膜的介电频谱分析第39-42页
        3.3.4 Ca_(1-3/2x)Y_xCu_3Ti_4O_(12)薄膜的介电温谱分析第42-43页
        3.3.5 Ca_(1-3/2x)Y_xCu_3Ti_4O_(12)薄膜的压敏特性分析第43-46页
    3.4 A'位Y梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微结构以及电性能研究第46-49页
        3.4.1 Y梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的物相分析第46页
        3.4.2 Y梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微形貌分析第46-47页
        3.4.3 Y梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的介电性能研究第47-48页
        3.4.4 Y梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的压敏性能研究第48-49页
    3.5 本章小结第49-51页
第四章 A"位Mg掺杂以及梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的研究第51-67页
    4.1 引言第51页
    4.2 实验内容与方法第51-52页
        4.2.1 实验所需原料第51-52页
        4.2.2 CaCu_(3-x)Mg_xTi_4O_(12)前驱体溶胶的制备第52页
    4.3 A"位Mg掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微结构以及电性能研究第52-61页
        4.3.1 CaCu_(3-x)Mg_xTi_4O_(12)薄膜的物相分析第52-53页
        4.3.2 CaCu_(3-x)Mg_xTi_4O_(12)薄膜的显微形貌分析第53-55页
        4.3.3 CaCu_(3-x)Mg_xTi_4O_(12)薄膜的介电频谱分析第55-58页
        4.3.4 CaCu_(3-x)Mg_xTi_4O_(12)薄膜的介电温谱分析第58-59页
        4.3.5 CaCu_(3-x)Mg_xTi_4O_(12)薄膜的压敏特性分析第59-61页
    4.4 A"位Mg梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微结构以及电性能研究第61-65页
        4.4.1 Mg梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的物相分析第61-62页
        4.4.2 Mg梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微形貌分析第62-63页
        4.4.3 Mg梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的介电性能研究第63-64页
        4.4.4 Mg梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的压敏性能研究第64-65页
    4.5 本章小结第65-67页
第五章 B位Zr掺杂以及梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的研究第67-83页
    5.1 引言第67页
    5.2 实验内容与方法第67-68页
        5.2.1 实验所需原料第67-68页
        5.2.2 CaCu_3Ti_(4-x)Zr_xO_(12)前驱体溶胶的制备第68页
    5.3 B位Zr掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微结构以及电性能研究第68-78页
        5.3.1 CaCu_3Ti_(4-x)Zr_xO_(12)薄膜的物相分析第68-69页
        5.3.2 CaCu_3Ti_(4-x)Zr_xO_(12)薄膜的显微形貌分析第69-72页
        5.3.3 CaCu_3Ti_(4-x)Zr_xO_(12)薄膜的介电频谱分析第72-75页
        5.3.4 CaCu_3Ti_(4-x)Zr_xO_(12)薄膜的介电温谱分析第75-76页
        5.3.5 CaCu_3Ti_(4-x)Zr_xO_(12)薄膜的压敏特性分析第76-78页
    5.4 B位Zr梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微结构以及电性能研究第78-82页
        5.4.1 Zr梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的物相分析第78页
        5.4.2 Zr梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的显微形貌分析第78-80页
        5.4.3 Zr梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的介电性能研究第80-81页
        5.4.4 Zr梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜的压敏性能研究第81-82页
    5.5 本章小结第82-83页
第六章 结论与展望第83-85页
    6.1 结论第83-84页
    6.2 展望第84-85页
参考文献第85-91页
致谢第91-92页
攻读硕士期间科研成果第92页

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