基于MPC08控制卡准分子激光曲面微加工过程补偿装置
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 准分子微加工特点 | 第16-17页 |
| 1.4 研究内容和目标 | 第17-18页 |
| 1.5 论文结构 | 第18-20页 |
| 第2章 装置的框架结构 | 第20-28页 |
| 2.1 装置总体框架 | 第20-21页 |
| 2.2 数据传输 | 第21-23页 |
| 2.2.1 RS-232C总线 | 第21页 |
| 2.2.2 PCI总线 | 第21-23页 |
| 2.3 程序架构 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 硬件规划及搭建 | 第28-38页 |
| 3.1 硬件框架 | 第28-29页 |
| 3.2 位移传感器装置 | 第29-33页 |
| 3.2.1 激光三角法基本原理 | 第29-32页 |
| 3.2.2 激光传感器性能指标 | 第32-33页 |
| 3.3 控制移动装置 | 第33-36页 |
| 3.3.1 六轴电动平移台 | 第33-34页 |
| 3.3.2 MPC08控制卡 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 软件设计及实现 | 第38-56页 |
| 4.1 软件开发工具 | 第38页 |
| 4.1.1 VisualStudio简介 | 第38页 |
| 4.1.2 VC++开发语言特点 | 第38页 |
| 4.2 MFC框架 | 第38-41页 |
| 4.2.1 MFC特性 | 第39页 |
| 4.2.2 MFC类的分层结构 | 第39-41页 |
| 4.3 多线程技术 | 第41-43页 |
| 4.3.1 线程优先级 | 第41-42页 |
| 4.3.2 线程间通信 | 第42-43页 |
| 4.4 MPC08控制卡的函数指令 | 第43-48页 |
| 4.4.1 单轴运动控制 | 第44-46页 |
| 4.4.2 多轴运动控制 | 第46页 |
| 4.4.3 多轴插补运动控制 | 第46页 |
| 4.4.4 运动指令执行方式 | 第46页 |
| 4.4.5 控制卡和轴的设置函数 | 第46-47页 |
| 4.4.6 MPC08控制卡函数库的初始化 | 第47-48页 |
| 4.5 界面控制程序 | 第48-51页 |
| 4.6 位移平台的运动特性 | 第51-52页 |
| 4.7 补偿原理及其代码实现 | 第52-55页 |
| 4.8 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 验证实验及结论 | 第56-66页 |
| 5.1 装置补偿性能实验 | 第56-60页 |
| 5.1.1 所使用的实验材料 | 第56页 |
| 5.1.2 实验过程及结果 | 第56-60页 |
| 5.2 装置加工效果实验 | 第60-64页 |
| 5.2.1 所使用的准分子激光器 | 第60页 |
| 5.2.2 实验方案 | 第60-61页 |
| 5.2.3 实验过程及结果 | 第61-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的科研成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
