| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 引言 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 类金刚石碳基薄膜 | 第13-14页 |
| 1.3 金属掺杂类金刚石碳基薄膜 | 第14-16页 |
| 1.4 双元金属掺杂类金刚石碳基薄膜 | 第16-20页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 薄膜制备与表征技术 | 第21-27页 |
| 2.1 薄膜沉积设备 | 第21-22页 |
| 2.2 筛选工艺参数 | 第22页 |
| 2.3 薄膜表征技术 | 第22-27页 |
| 第三章 Ti/Al共掺杂DLC薄膜的设计制备与结构性能研究 | 第27-44页 |
| 3.1 薄膜的制备与表征 | 第27-28页 |
| 3.2 CH_4气氛下改变溅射电流对Ti/Al-DLC薄膜的影响 | 第28-33页 |
| 3.2.1 结果与讨论 | 第28-32页 |
| 3.2.1.1 溅射电流对薄膜成分和微结构的影响 | 第28-31页 |
| 3.2.1.2 溅射电流对薄膜内应力和力学性能的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.2 小结 | 第32-33页 |
| 3.3 不同气源CH_4/C_2H_2对Ti/Al-DLC薄膜的影响 | 第33-38页 |
| 3.3.1 结果与讨论 | 第33-37页 |
| 3.3.1.1 不同气源对薄膜成分和结构的影响 | 第33-36页 |
| 3.3.1.2 不同气源对薄膜内应力和力学性能的影响 | 第36-37页 |
| 3.3.2 小结 | 第37-38页 |
| 3.4 不同偏压对Ti/Al-DLC薄膜的影响 | 第38-42页 |
| 3.4.1 结果与讨论 | 第38-42页 |
| 3.4.1.1 不同偏压对薄膜成分和结构的影响 | 第38-41页 |
| 3.4.1.2 偏压对薄膜内应力和力学性能的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.2 小结 | 第42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 过渡层对Ti/Al-DLC薄膜结构和结合力的影响 | 第44-51页 |
| 4.1 实验部分 | 第44-45页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第45-50页 |
| 4.2.1 过渡层对薄膜成分、性能的影响 | 第45-48页 |
| 4.2.2 添加过渡层前后薄膜的摩擦性能 | 第48-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 Ti/Al-DLC薄膜的摩擦机制 | 第51-65页 |
| 5.1 实验部分 | 第51-52页 |
| 5.2 结果与讨论 | 第52-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论和展望 | 第65-68页 |
| 6.1 结论 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 在学研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
