| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.1 划片机的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 模态测试测点优化技术的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 主要内容 | 第13页 |
| 1.4 论文的组织结构 | 第13-15页 |
| 第2章 砂轮划片机主系统试验模态分析 | 第15-26页 |
| 2.1 砂轮划片机主系统结构 | 第15-16页 |
| 2.2 模态分析 | 第16-18页 |
| 2.2.1 基本理论 | 第16-17页 |
| 2.2.2 试验模态分析 | 第17-18页 |
| 2.3 砂轮划片机主系统试验模态分析 | 第18-25页 |
| 2.3.1 模态试验测试系统的建立 | 第18-20页 |
| 2.3.2 砂轮划片机主系统模态测试试验 | 第20-23页 |
| 2.3.3 砂轮划片机主系统试验模态分析结果 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 测点优化布置 | 第26-47页 |
| 3.1 测点优化算法 | 第26-27页 |
| 3.1.1 模态动能法 | 第26页 |
| 3.1.2 有效独立法 | 第26-27页 |
| 3.1.3 QR分解法 | 第27页 |
| 3.2 测点评优准则 | 第27-28页 |
| 3.2.1 模态置信准则 | 第27-28页 |
| 3.2.2 香农扩展定理 | 第28页 |
| 3.3 基于有限元模型仿真的测点优化 | 第28-40页 |
| 3.3.1 基于Ansys workbench的砂轮划片机主系统有限元模态分析 | 第28-30页 |
| 3.3.2 砂轮划片机主系统的测点优化 | 第30-40页 |
| 3.4 基于测点优化的模态测试试验 | 第40-44页 |
| 3.5 优化测点前后的模态参数相关性 | 第44-46页 |
| 3.5.1 固有频率的分析 | 第44页 |
| 3.5.2 模态振型的分析 | 第44-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 基于回归正交设计的划切工艺参数优化试验 | 第47-61页 |
| 4.1 刀具的选择 | 第47-48页 |
| 4.2 划切工艺参数 | 第48-49页 |
| 4.3 信号特征量的提取 | 第49页 |
| 4.4 基于回归正交设计的划切工艺参数优化试验 | 第49-60页 |
| 4.4.1 试验方案 | 第50页 |
| 4.4.2 工况一:镍基刀切割硅片 | 第50-56页 |
| 4.4.3 工况二:树脂基刀切割玻璃 | 第56-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 基于遗传算法的划切工艺参数优化 | 第61-70页 |
| 5.1 遗传算法概述 | 第61-63页 |
| 5.2 基于遗传算法的划切工艺参数优化 | 第63-67页 |
| 5.2.1 工况一:镍基刀切割硅片 | 第63-65页 |
| 5.2.2 工况二:树脂基刀切割玻璃 | 第65-67页 |
| 5.3 试验验证 | 第67-69页 |
| 5.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 第6章 结论与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 结论 | 第70页 |
| 6.2 展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第77页 |