高压纳秒脉冲等离子体放电特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-11页 |
| 1 等离子体概述 | 第11-22页 |
| ·低温等离子体的产生 | 第11-15页 |
| ·直流辉光放电 | 第12-13页 |
| ·射频辉光放电 | 第13页 |
| ·微波放电 | 第13-15页 |
| ·纳秒脉冲气体放电等离子体的研究状况 | 第15-17页 |
| ·纳秒脉冲放电机理及模型 | 第17-19页 |
| ·纳秒脉冲放电等离子体的应用 | 第19-20页 |
| ·用于臭氧的产生 | 第19-20页 |
| ·用于废气的处理 | 第20页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 2 纳秒脉冲气体放电等离子体的产生装置 | 第22-26页 |
| ·实验装置和测量装置 | 第22-25页 |
| ·脉冲电源介绍 | 第22-23页 |
| ·等离子体产生装置 | 第23-24页 |
| ·等离子体测量装置 | 第24-25页 |
| ·噪声信号分析及解决办法方法 | 第25-26页 |
| ·噪声的来源 | 第25-26页 |
| ·噪声的抑制 | 第26页 |
| 3 纳秒脉冲放电等离子体的电学诊断 | 第26-30页 |
| ·电学诊断 | 第26-29页 |
| ·放电机制分析 | 第29-30页 |
| 4 纳秒脉冲放电等离子体的光谱学诊断 | 第30-39页 |
| ·发射光谱原理 | 第30-31页 |
| ·谱线的加宽 | 第31-35页 |
| ·内秒脉冲放电等离子体发射光谱测量 | 第35-39页 |
| ·N_2在放电中产生的活性粒子 | 第35-36页 |
| ·放电中氧原子的形成 | 第36页 |
| ·放电中臭氧的形成 | 第36-39页 |
| 5 纳秒脉冲放电等离子体的转动温度和振动温度诊断 | 第39-43页 |
| ·等离子体的转动温度 | 第39页 |
| ·等离子体的振动温度 | 第39页 |
| ·氮气分子转动和振动温度的拟合方法 | 第39-40页 |
| ·实验结果与讨论 | 第40-43页 |
| 结论与展望 | 第43-45页 |
| 1 结论 | 第43-44页 |
| 2 展望 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-52页 |
