首页--工业技术论文--一般工业技术论文--工程材料学论文--特种结构材料论文

NbSiN/Ag/Cu低辐射薄膜的制备及性能研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
1 绪论第8-22页
    1.1 引言第8页
    1.2 低辐射玻璃第8-15页
        1.2.1 低辐射玻璃节能原理第9-11页
        1.2.2 低辐射玻璃的性能特点第11-12页
        1.2.3 低辐射玻璃的种类第12-13页
        1.2.4 薄膜的生长过程第13-15页
    1.3 低辐射玻璃的制备第15-19页
        1.3.1 磁控溅射法第15-17页
        1.3.2 化学气相沉积法第17页
        1.3.3 真空蒸镀法第17-18页
        1.3.4 喷雾热解法第18-19页
    1.4 低辐射玻璃的研究现状第19-21页
        1.4.1 低辐射玻璃的国外研究现状第19-20页
        1.4.2 低辐射玻璃的国内研究现状第20页
        1.4.3 低辐射玻璃研究存在的问题第20-21页
    1.5 本课题的研究目的及意义第21-22页
2 实验第22-26页
    2.1 实验材料与设备第22页
    2.2 低辐射薄膜的制备第22-24页
        2.2.1 基片预处理第22-23页
        2.2.2 薄膜的制备过程第23-24页
    2.3 薄膜的性能检测第24-26页
3 NbSiN/Ag/Cu低辐射薄膜的制备及性能研究第26-48页
    3.1 功能层银薄膜制备及性能研究第26-32页
        3.1.1 溅射功率对银薄膜性能的影响第26-28页
        3.1.2 真空室压强及氩气流量对银薄膜性能的影响第28-31页
        3.1.3 靶基间距对银薄膜性能的影响第31-32页
    3.2 种子层铜薄膜制备及性能研究第32-36页
    3.3 保护层NbSiN薄膜制备及性能研究第36-43页
        3.3.1 硅靶功率对NbSiN薄膜性能的影响第37-38页
        3.3.2 铌靶功率对NbSiN薄膜性能的影响第38-39页
        3.3.3 氮气流量对NbSiN薄膜性能的影响第39-41页
        3.3.4 溅射时间对NbSiN薄膜性能的影响第41-43页
    3.4 NbSiN/Ag/Cu/Glass低辐射薄膜的性能第43-47页
        3.4.1 NbSiN/Ag/Cu/Glass低辐射薄膜的可见光透过率第43-44页
        3.4.2 NbSiN/Ag/Cu/Glass低辐射薄膜的远红外反射率第44-46页
        3.4.3 NbSiN/Ag/Cu/Glass低辐射薄膜的抗腐蚀性能第46-47页
    3.5 小结第47-48页
4 结论第48-49页
致谢第49-50页
参考文献第50-52页

论文共52页,点击 下载论文
上一篇:东鞍山铁矿爆破质量评价研究
下一篇:BaTiO3颗粒增强AZ91基复合材料的组织与性能