| 摘要 | 第2-3页 |
| abstract | 第3页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 软磁材料的发展 | 第7-9页 |
| 1.3 高频软磁薄膜的应用及研究进展 | 第9-10页 |
| 1.4 课题的研究意义 | 第10-11页 |
| 1.5 本论文的研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 FeCo基高频软磁薄膜的制备与性能表征 | 第13-27页 |
| 2.1 磁学理论与高频铁磁薄膜测量原理 | 第13-21页 |
| 2.1.1 基本磁学理论 | 第13-14页 |
| 2.1.2 磁畴理论 | 第14-16页 |
| 2.1.3 磁滞理论 | 第16-18页 |
| 2.1.4 复数磁导率 | 第18-19页 |
| 2.1.5 磁谱理论 | 第19-21页 |
| 2.2 高频铁磁薄膜制备方法 | 第21-24页 |
| 2.2.1 磁控溅射法 | 第21-23页 |
| 2.2.2 脉冲激光沉积法 | 第23-24页 |
| 2.3 高频铁磁薄膜磁性能表征 | 第24-27页 |
| 2.3.1 薄膜静态磁性测量——振动样品磁强计(VSM) | 第24页 |
| 2.3.2 磁导率测量——矢量网络分析仪(VNA) | 第24-25页 |
| 2.3.3 晶相结构——X射线衍射分析(XRD) | 第25页 |
| 2.3.4 磁畴表征——磁力显微镜(MFM)、磁光克尔效应(MOKE) | 第25-27页 |
| 第三章 溅射气压对Fe_(70)Co_(30)-B微波薄膜的磁学性能的影响 | 第27-37页 |
| 3.1 引言 | 第27-28页 |
| 3.2 Fe_(70)Co_(30)-B软磁薄膜的制备及性能分析 | 第28-35页 |
| 3.2.1 Fe_(70)Co_(30)-B软磁薄膜的制备过程 | 第28-29页 |
| 3.2.2 实验结果与讨论 | 第29-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 Ru厚度对Fe_(70)Co_(30)B/Ru/Fe_(70)Co_(30)B薄膜磁学参数的影响 | 第37-45页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 Fe_(70)Co_(30)B/Ru/Fe_(70)Co_(30)B三层膜的制备及性能分析 | 第37-43页 |
| 4.2.1 Fe_(70)Co_(30)B/Ru/Fe_(70)Co_(30)B三层膜的制备过程 | 第37-39页 |
| 4.2.2 Fe_(70)Co_(30)B/Ru/Fe_(70)Co_(30)B三层膜及单层Fe_(70)Co_(30)B的性能表征 | 第39-43页 |
| 4.3 结论 | 第43-45页 |
| 第五章 应力对非晶Fe_(56)Co_(24)B_(20)薄膜高频性能的影响 | 第45-53页 |
| 5.1 引言 | 第45页 |
| 5.2 Fe_(56)Co_(24)B_(20)软磁薄膜的制备及性能分析 | 第45-51页 |
| 5.2.1 Fe_(56)Co_(24)B_(20)软磁薄膜的制备过程 | 第45-46页 |
| 5.2.2 实验结果与讨论 | 第46-51页 |
| 5.3 本章小结 | 第51-53页 |
| 第六章 结论与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 结论 | 第53-54页 |
| 6.2 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-63页 |
| 攻读硕士期间的科研成果 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
