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基于原位喷涂退火工艺的有机薄膜晶体管的研究

摘要第5-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第10-15页
    1.1 OTFT的研究背景第10页
    1.2 OTFT的发展第10-11页
    1.3 OTFT的制备方法概况第11-13页
        1.3.1 真空沉积法第12页
        1.3.2 溶液法第12-13页
        1.3.3 喷涂法技术概况第13页
    1.4 OTFT存在的问题第13-14页
    1.5 本论文研究内容第14-15页
第二章 有机薄膜晶体管的基本理论第15-23页
    2.1 OTFT的结构第15页
    2.2 OTFT的工作原理第15-17页
    2.3 OTFT材料的选择第17-22页
        2.3.1 介电层材料第17-19页
        2.3.2 有源层材料第19-21页
        2.3.3 电极材料第21-22页
        2.3.4 衬底材料第22页
    2.4 本章小结第22-23页
第三章 有机薄膜晶体管及其气体传感器的制备和测试第23-38页
    3.1 器件的制备第23-29页
        3.1.1 玻璃基板的清洁及预处理第23-24页
        3.1.2 介电层和有源层材料溶液的准备第24-25页
        3.1.3 介电层的制备第25页
        3.1.4 有源层的制备第25-27页
        3.1.5 金属电极的制备第27-29页
    3.2 OTFT的性能表征第29-35页
        3.2.1 输出特性和转移特性曲线第29-30页
        3.2.2 OTFT的电学性能参数第30-34页
        3.2.3 OTFT气体传感器的性能参数第34-35页
    3.3 器件的测试方法第35-37页
        3.3.1 器件电学性能的测试方法第35-36页
        3.3.2 器件气敏性能的测试方法第36-37页
    3.4 本章小结第37-38页
第四章 原位喷涂退火工艺对有机薄膜晶体管性能的影响第38-48页
    4.1 研究背景第38-39页
    4.2 器件的设计与制备第39页
    4.3 器件电学性能的测试与分析第39-44页
    4.4 有源层薄膜的表征和分析第44-47页
    4.5 本章小结第47-48页
第五章 原位喷涂退火工艺对有机薄膜晶体管气体传感器气敏的影响第48-57页
    5.1 研究背景第48-49页
    5.2 器件的设计与制备第49页
    5.3 器件气敏特性测试与分析第49-54页
        5.3.1 气敏性能的测试第49-53页
        5.3.2 气敏机理分析第53-54页
    5.4 有源层薄膜表征和分析第54-56页
    5.5 本章小结第56-57页
第六章 总结与展望第57-59页
    6.1 全文总结第57-58页
    6.2 后续工作展望第58-59页
致谢第59-60页
参考文献第60-66页
攻读硕士学位期间取得的成果第66页

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