| 摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第13-29页 |
| 1.1 ZnO 材料的基本性质 | 第14-17页 |
| 1.2 ZnO 材料的研究热点及应用 | 第17-18页 |
| 1.3 p 型 ZnO 材料的研究进展 | 第18-25页 |
| 1.3.1 IA 族元素掺杂 | 第18-19页 |
| 1.3.2 IB 族元素掺杂 | 第19-21页 |
| 1.3.3 V 族元素掺杂 | 第21-24页 |
| 1.3.4 双受主元素共掺杂 | 第24-25页 |
| 1.3.5 施主-受主元素共掺杂 | 第25页 |
| 1.4 ZnO 材料研究中存在的主要问题 | 第25-26页 |
| 1.5 论文选题依据及研究内容 | 第26-29页 |
| 第二章 ZnO 薄膜的制备技术和表征手段 | 第29-43页 |
| 2.1 ZnO 薄膜的制备 | 第29-33页 |
| 2.1.1 磁控溅射镀膜技术及其原理 | 第29-32页 |
| 2.1.2 后热处理设备 | 第32-33页 |
| 2.2 ZnO 薄膜性能的表征 | 第33-43页 |
| 2.2.1 X 射线衍射（XRD） | 第33-34页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第34-36页 |
| 2.2.3 霍尔效应测量（Hall） | 第36-38页 |
| 2.2.4 X 射线光电子能谱（XPS） | 第38-39页 |
| 2.2.5 俄歇电子能谱（AES） | 第39-40页 |
| 2.2.6 紫外-可见吸收光谱 | 第40-41页 |
| 2.2.7 光致发光光谱（PL） | 第41-43页 |
| 第三章 Cu 在 ZnO 中掺杂状态随 Cu 含量及热处理温度的变化规律 | 第43-57页 |
| 3.1 前言 | 第43-44页 |
| 3.2 Cu 掺杂 ZnO 薄膜的制备 | 第44页 |
| 3.3 Cu 含量对 Cu 在 ZnO 中掺杂状态及 ZnO:Cu 性能的影响 | 第44-51页 |
| 3.3.1 不同 Cu 含量 ZnO 薄膜的成分和结构表征 | 第44-46页 |
| 3.3.2 不同 Cu 含量 ZnO 薄膜的光电子能谱分析 | 第46-48页 |
| 3.3.3 不同 Cu 含量 ZnO 薄膜的电学性能表征 | 第48-50页 |
| 3.3.4 不同 Cu 含量 ZnO 薄膜的光学性能表征 | 第50-51页 |
| 3.4 热处理对 Cu 在 ZnO 中掺杂状态的影响 | 第51-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 Au 在 ZnO 中的掺杂状态及其对 ZnO 性能的影响 | 第57-75页 |
| 4.1 前言 | 第57-58页 |
| 4.2 Au 在 ZnO 中的固溶度 | 第58-62页 |
| 4.2.1 不同 Au 含量 ZnO 薄膜的制备 | 第58-59页 |
| 4.2.2 不同 Au 含量 ZnO 薄膜的成分和结构表征 | 第59-61页 |
| 4.2.3 不同 Au 含量 ZnO 薄膜光学性质的表征 | 第61-62页 |
| 4.3 热处理对 Au 在 ZnO 中掺杂状态及 ZnO:Au 性能的影响 | 第62-71页 |
| 4.3.1 热处理温度对 Au 掺杂 ZnO 薄膜结构的影响 | 第62-63页 |
| 4.3.2 热处理温度对 Au 在 ZnO 中掺杂状态及含量的影响 | 第63-66页 |
| 4.3.3 热处理温度对 Au 掺杂 ZnO 薄膜电学性能的影响 | 第66-67页 |
| 4.3.4 热处理温度对 Au 掺杂 ZnO 薄膜光学性能的影响 | 第67-71页 |
| 4.4 Au 掺杂引起的 ZnO 光致发光淬灭机制的讨论 | 第71-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 Ag-S 共掺 p 型 ZnO 中 Ag 掺杂状态及其 p 型导电机制的研究 | 第75-85页 |
| 5.1 前言 | 第75-76页 |
| 5.2 Ag 掺杂和 Ag-S 共掺杂 ZnO 薄膜的制备 | 第76页 |
| 5.3 Ag-S 共掺杂对 ZnO 薄膜性能的影响 | 第76-84页 |
| 5.3.1 Ag 掺杂和 Ag-S 共掺杂 ZnO 薄膜的结构表征 | 第76-78页 |
| 5.3.2 Ag 掺杂和 Ag-S 共掺杂 ZnO 薄膜的光电子能谱分析 | 第78-80页 |
| 5.3.3 Ag 掺杂和 Ag-S 共掺杂 ZnO 薄膜的电学性质分析 | 第80-82页 |
| 5.3.4 Ag 掺杂和 Ag-S 共掺杂 ZnO 薄膜的光学性质分析 | 第82-84页 |
| 5.4 本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 结论与展望 | 第85-89页 |
| 6.1 结论 | 第85-86页 |
| 6.2 展望 | 第86-89页 |
| 参考文献 | 第89-101页 |
| 作者简历 | 第101-102页 |
| 博士期间所取得的科研成果 | 第102-103页 |
| 致谢 | 第103页 |
