| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 超声波的特点及应用 | 第9页 |
| 1.2 超声波悬浮技术及发展现状 | 第9-10页 |
| 1.3 超声波悬浮轴承 | 第10-13页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 压电理论基础 | 第14-21页 |
| 2.1 压电效应与逆压电效应 | 第14页 |
| 2.2 压电陶瓷 | 第14-16页 |
| 2.3 压电换能器 | 第16-18页 |
| 2.3.1 压电换能器简介 | 第16页 |
| 2.3.2 压电换能器主要性能参数 | 第16-18页 |
| 2.4 压电方程 | 第18-19页 |
| 2.5 压电振子振动模态 | 第19-20页 |
| 2.6 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 超声波发生器设计 | 第21-31页 |
| 3.1 超声波发生器总体结构设计 | 第21-22页 |
| 3.2 全桥逆变电路 | 第22-24页 |
| 3.2.1 SPWM 驱动电路 | 第22-23页 |
| 3.2.2 DC-AC 逆变电路 | 第23-24页 |
| 3.3 基于 FPGA 的 SPWM 控制器 | 第24-29页 |
| 3.3.1 自然采样法原理 | 第25-27页 |
| 3.3.2 SPWM 产生模块设计 | 第27-29页 |
| 3.4 超声波发生器实物与测试 | 第29-30页 |
| 3.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 超声悬浮轴承建模 | 第31-42页 |
| 4.1 电机轴承的超声波悬浮方式 | 第31-32页 |
| 4.2 圆锥辐射面郎之万振子设计 | 第32-36页 |
| 4.2.1 郎之万振子简介 | 第32-33页 |
| 4.2.2 郎之万振子设计 | 第33-34页 |
| 4.2.3 郎之万振子性能及悬浮能力测试分析 | 第34-36页 |
| 4.3 轴向支撑超声悬浮轴承建模 | 第36-41页 |
| 4.3.1 郎之万振子建模 | 第36-38页 |
| 4.3.2 声辐射力计算 | 第38-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 超声悬浮轴承自抗扰控制研究 | 第42-61页 |
| 5.1 自抗扰控制器结构 | 第42-49页 |
| 5.1.1 跟踪微分器 | 第43-45页 |
| 5.1.2 扩张状态观测器 | 第45-48页 |
| 5.1.3 非线性状态误差反馈控制率 | 第48-49页 |
| 5.2 基于 S 函数的 ADRC 模块建立 | 第49-51页 |
| 5.3 ADRC 参数变化对控制效果的影响 | 第51-56页 |
| 5.4 超声波悬浮轴承 ADRC 控制仿真实验与分析 | 第56-59页 |
| 5.5 待改进的问题 | 第59-60页 |
| 5.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 全文总结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者简介 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |