| 摘要 | 第5-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-32页 |
| 1.1 光学天线的研究 | 第14-16页 |
| 1.2 金属纳米孔阵列和牛眼形单孔的超透射特性 | 第16-19页 |
| 1.3 脊形纳米孔(Ridged aperture)的光学性质 | 第19-22页 |
| 1.4 领结形纳米孔的制备 | 第22-24页 |
| 1.5 本论文主要研究内容 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-32页 |
| 第二章 超小间隙的领结形光学天线的制备及表征 | 第32-54页 |
| 2.1 领结形光学天线的近场特性研究 | 第32-33页 |
| 2.2 FIB加工中的非陡直侧壁对领结形光学天线的影响 | 第33-36页 |
| 2.3 制备具有超小间隙的领结形光学天线 | 第36-38页 |
| 2.4 背面刻蚀方法制备的领结形纳米孔光学特性分析 | 第38-41页 |
| 2.5 具有超小间隙的领结形光学天线的近场表征 | 第41-45页 |
| 2.6 制备间隙宽度小于5 nm的领结形纳米孔 | 第45-47页 |
| 2.7 本章小结 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 第三章 基于领结形纳米孔的高分辨近场光刻研究 | 第54-71页 |
| 3.1 近场扫描光刻技术介绍 | 第54-56页 |
| 3.2 近场光刻模板的制备 | 第56-57页 |
| 3.3 近场光刻系统与光刻过程 | 第57-60页 |
| 3.4 近场光刻的数值分析 | 第60-61页 |
| 3.5 近场光刻的结果 | 第61-64页 |
| 3.6 本章小结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 第四章 桥连领结形光学天线的近场特性 | 第71-91页 |
| 4.1 研究背景 | 第71-75页 |
| 4.2 桥连领结形光学天线的设计和近场特性研究 | 第75-81页 |
| 4.3 桥连领结形光学天线的制备 | 第81-82页 |
| 4.4 桥连领结形光学天线的近场表征 | 第82-84页 |
| 4.5 本章小结 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-91页 |
| 第五章 多领结形光学天线用于波长选择 | 第91-109页 |
| 5.1 研究背景 | 第91-93页 |
| 5.2 数值仿真研究 | 第93-98页 |
| 5.3 多领结形光学天线的制备 | 第98-100页 |
| 5.4 多领结形光学天线的近场表征 | 第100-103页 |
| 5.6 本章小结 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-109页 |
| 第六章 论文总结与展望 | 第109-113页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第109-110页 |
| 6.2 工作展望 | 第110-113页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第113页 |
| 本论文研究工作得到以下项目资助 | 第113-114页 |
| 致谢 | 第114页 |
