| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究的缘起和意义 | 第10页 |
| 1.2 研究的应用价值 | 第10-11页 |
| 1.3 研究的背景和范围 | 第11-12页 |
| 1.3.1 国内外研究概况 | 第11-12页 |
| 1.3.2 本文研究范围 | 第12页 |
| 1.4 研究内容要解决的问题 | 第12-14页 |
| 1.4.1 具体研究内容 | 第13页 |
| 1.4.2 计划解决的关键问题 | 第13页 |
| 1.4.3 技术路线和技术措施 | 第13-14页 |
| 1.5 具体研究的安排 | 第14-15页 |
| 2 系统需求分析 | 第15-28页 |
| 2.1 半导体设备管理理论的发展 | 第15-18页 |
| 2.1.1 半导体设备管理的定义 | 第15页 |
| 2.1.2 半导体设备管理的发展 | 第15-17页 |
| 2.1.3 全员生产维护体制(TPM) | 第17-18页 |
| 2.2 半导体生产设备管理需求分析 | 第18-20页 |
| 2.2.1 设备管理初级阶段 | 第18-19页 |
| 2.2.2 设备管理进阶阶段 | 第19-20页 |
| 2.3 某半导体工厂设备信息管理需求 | 第20-25页 |
| 2.3.1 制造部需求 | 第20-22页 |
| 2.3.2 设备部需求 | 第22-23页 |
| 2.3.3 工程部需求 | 第23页 |
| 2.3.4 其他部门需求 | 第23-24页 |
| 2.3.5 设备信息管理需求总结 | 第24-25页 |
| 2.4 某半导体生产工厂设备管理信息系统背景 | 第25-28页 |
| 2.4.1 某半导体生产工厂设备管理化管理的目标 | 第25页 |
| 2.4.2 设备管理信息化系统的系统架构 | 第25-28页 |
| 3 系统设计 | 第28-44页 |
| 3.1 系统开发工具及技术 | 第28-31页 |
| 3.1.1 SQL数据库技术 | 第28页 |
| 3.1.2 Visual Basic.Net编程语言 | 第28-29页 |
| 3.1.3 LINQ语言集成查询技术 | 第29页 |
| 3.1.4 Visual Studio 2013开发平台 | 第29-30页 |
| 3.1.5 SEMI通讯技术 | 第30-31页 |
| 3.2 数据库设计 | 第31-38页 |
| 3.2.1 数据库物理逻辑结构设计 | 第31-32页 |
| 3.2.2 半导体生产设备信息化管理系统数据库的设计 | 第32-38页 |
| 3.3 系统模块的设计 | 第38-44页 |
| 3.3.1 员工信息管理 | 第39页 |
| 3.3.2 权限管理 | 第39-40页 |
| 3.3.3 设备信息管理 | 第40页 |
| 3.3.4 设备工艺参数管理 | 第40-41页 |
| 3.3.5 设备硬件参数管理 | 第41页 |
| 3.3.6 维修信息管理 | 第41-43页 |
| 3.3.7 备件信息管理 | 第43页 |
| 3.3.8 备件订单管理 | 第43-44页 |
| 4 系统实现及测试 | 第44-61页 |
| 4.1 系统登入的实现 | 第44页 |
| 4.2 员工信息管理及权限管理的实现 | 第44-47页 |
| 4.2.1 用户信息界面 | 第44-45页 |
| 4.2.2 用户管理界面 | 第45-46页 |
| 4.2.3 权限控制界面 | 第46-47页 |
| 4.2.4 权限管理的实现 | 第47页 |
| 4.3 设备信息管理的实现 | 第47-49页 |
| 4.3.1 设备实时状态监控的实现 | 第47-48页 |
| 4.3.2 设备故障信息监控的实现 | 第48-49页 |
| 4.4 设备工艺参数信息管理的实现 | 第49-50页 |
| 4.5 设备硬件参数信息管理的实现 | 第50-52页 |
| 4.6 设备维修信息管理的实现 | 第52-55页 |
| 4.6.1 设备例行保养管理的实现 | 第52-53页 |
| 4.6.2 设备故障维修管理的实现 | 第53-55页 |
| 4.7 备件信息管理的实现 | 第55-56页 |
| 4.8 备件订单管理的实现 | 第56-58页 |
| 4.9 测试 | 第58-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
