基于柔顺机构的平面三自由度微定位系统研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.2 研究背景 | 第11-16页 |
| 1.2.1 宏微结合定位 | 第11-13页 |
| 1.2.2 微定位系统组成 | 第13-15页 |
| 1.2.3 微定位典型应用 | 第15-16页 |
| 1.3 微定位研究进展及关键问题 | 第16-29页 |
| 1.3.1 微定位预紧机构 | 第23-26页 |
| 1.3.2 微定位平台优化 | 第26页 |
| 1.3.3 大行程微定位平台 | 第26-27页 |
| 1.3.4 微定位系统性能优化 | 第27-29页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第29-31页 |
| 第二章 微定位平台性能评价模型 | 第31-48页 |
| 2.1 性能评价指标选取 | 第32-34页 |
| 2.1.1 基本构型选取 | 第32页 |
| 2.1.2 性能评价模型描述 | 第32-34页 |
| 2.2 性能指标评价函数 | 第34-45页 |
| 2.2.1 基本性能指标 | 第34-41页 |
| 2.2.2 基于雅克比矩阵的性能指标 | 第41-45页 |
| 2.3 约束型指标评价函数 | 第45-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第三章 平面3-RRR微定位平台优化设计 | 第48-78页 |
| 3.1 优化流程 | 第48-51页 |
| 3.1.1 算法 | 第49-50页 |
| 3.1.2 决策 | 第50-51页 |
| 3.2 优化示例 | 第51-56页 |
| 3.2.1 参数初始化 | 第51-54页 |
| 3.2.2 优化结果与讨论 | 第54-56页 |
| 3.3 设计案例一 | 第56-71页 |
| 3.3.1 优化、决策与适配 | 第60-63页 |
| 3.3.2 外部预紧机构设计 | 第63-65页 |
| 3.3.3 测试系统搭建及结果分析 | 第65-71页 |
| 3.4 设计案例二 | 第71-75页 |
| 3.5 本章小结 | 第75-78页 |
| 第四章 大行程平面3-RRR微定位平台研究 | 第78-108页 |
| 4.1 平台设计 | 第78-87页 |
| 4.1.1 微位移放大机构 | 第79-82页 |
| 4.1.2 主结构参数优化 | 第82-83页 |
| 4.1.3 整体设计 | 第83-87页 |
| 4.2 位移损失建模 | 第87-91页 |
| 4.2.1 外部预紧端位移损失 | 第87-88页 |
| 4.2.2 输入端位移损失 | 第88页 |
| 4.2.3 传递端位移损失 | 第88-91页 |
| 4.3 位移损失实验 | 第91-94页 |
| 4.3.1 预紧端位移损失验证 | 第92页 |
| 4.3.2 输入端和传递端位移损失验证 | 第92-94页 |
| 4.4 位移损失拟合 | 第94-102页 |
| 4.4.1 测试系统搭建 | 第94-96页 |
| 4.4.2 试验结果分析 | 第96-102页 |
| 4.5 基本性能建模及测试 | 第102-107页 |
| 4.5.1 基本性能建模 | 第102-105页 |
| 4.5.2 基本性能测试 | 第105-107页 |
| 4.6 本章小结 | 第107-108页 |
| 第五章 平面三自由度微定位系统实验研究 | 第108-130页 |
| 5.1 不同负载下微定位系统伺服参数寻优 | 第108-115页 |
| 5.1.1 负载选取依据 | 第108-110页 |
| 5.1.2 伺服参数寻优方法 | 第110-111页 |
| 5.1.3 伺服参数寻优实验 | 第111-115页 |
| 5.2 带有微定位系统的宏定位系统测试 | 第115-118页 |
| 5.2.1 宏微结合定位系统搭建 | 第115-116页 |
| 5.2.2 重复定位精度测试 | 第116-118页 |
| 5.3 大行程微定位系统伺服控制 | 第118-122页 |
| 5.3.1 加工误差补偿 | 第118-119页 |
| 5.3.2 末端执行器伺服控制 | 第119-122页 |
| 5.4 讨论 | 第122-129页 |
| 5.4.1 外加阻尼特性 | 第122-125页 |
| 5.4.2 温度变化补偿 | 第125-126页 |
| 5.4.3 平面外耦合运动补偿 | 第126-128页 |
| 5.4.4 力传感器封装 | 第128-129页 |
| 5.5 本章小结 | 第129-130页 |
| 结论与展望 | 第130-133页 |
| 参考文献 | 第133-144页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第144-145页 |
| 致谢 | 第145-147页 |
| 附件 | 第147页 |
