| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第10-14页 |
| 1.2.1 基于 AFM 的机械刻划加工微纳米结构的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 微球表面加工的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 采用 AFM 在微球表面加工微结构的实验研究 | 第15-30页 |
| 2.1 激光靶丸表面几何状态测量系统简介 | 第15-18页 |
| 2.1.1 机械装置及控制系统简介 | 第15-16页 |
| 2.1.2 调心方法 | 第16-18页 |
| 2.2 微球表面加工实验 | 第18-28页 |
| 2.2.1 铜球表面微结构加工实验 | 第18-24页 |
| 2.2.2 聚合物球表面微结构加工实验 | 第24-28页 |
| 2.3 现有系统在加工方面存在的不足 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 采用 AFM 加工微球表面的新装置建立及有限元分析 | 第30-44页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 系统的建立 | 第30-34页 |
| 3.2.1 系统的加工原理 | 第30-31页 |
| 3.2.2 系统运动部分的构成 | 第31-33页 |
| 3.2.3 控制系统的构成 | 第33-34页 |
| 3.3 系统有限元分析 | 第34-40页 |
| 3.3.1 模型的建立与处理 | 第34-35页 |
| 3.3.2 系统有限元分析 | 第35-40页 |
| 3.4 新加工装置的试验模态分析 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 新加工装置的误差分析与实验 | 第44-56页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 误差分析 | 第44-48页 |
| 4.2.1 加工装置的误差 | 第44-45页 |
| 4.2.2 加工轨迹误差分析 | 第45-48页 |
| 4.3 同轴度调节方法的研究 | 第48-51页 |
| 4.3.1 利用激光位移传感器调节同轴度 | 第48-50页 |
| 4.3.2 利用 CCD 调节同轴度 | 第50页 |
| 4.3.3 利用电感测微仪调节同轴度 | 第50-51页 |
| 4.4 同轴度调节实验 | 第51-55页 |
| 4.4.1 利用激光位移传感器调节同轴度实验 | 第53-54页 |
| 4.4.2 利用电感测微仪调节同轴度实验 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
