| 内容摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 研究内容和方法 | 第12-13页 |
| 第2章 测量系统分析的理论与方法 | 第13-23页 |
| 2.1 测量系统分析的相关概念 | 第13-14页 |
| 2.2 测量系统分析的特性 | 第14-19页 |
| 2.2.1 分辨力 | 第16-17页 |
| 2.2.2 偏倚 | 第17页 |
| 2.2.3 稳定性 | 第17-18页 |
| 2.2.4 线性 | 第18页 |
| 2.2.5 重复性 | 第18-19页 |
| 2.2.6 再现性 | 第19页 |
| 2.2.7 GRR或量具的重复性和再现性(Gage R&R) | 第19页 |
| 2.3 测量系统分析的方法 | 第19-23页 |
| 2.3.1 计量型测试系统的分析方法 | 第19-20页 |
| 2.3.2 计数型测量系统的分析方法 | 第20-23页 |
| 第3章 H公司测量系统管理现状与主要问题 | 第23-34页 |
| 3.1 公司简介 | 第23页 |
| 3.2 H公司测量系统管理现状 | 第23-32页 |
| 3.2.1 检验流程简介 | 第23-25页 |
| 3.2.2 检验设备简介 | 第25-27页 |
| 3.2.3 测试方法简介 | 第27-32页 |
| 3.3 H公司测量系统管理问题 | 第32-33页 |
| 3.3.1 检验仪器不够稳定 | 第32页 |
| 3.3.2 检验人员整体素质薄弱 | 第32页 |
| 3.3.3 缺乏系统的理论和方法的应用 | 第32-33页 |
| 3.4 原因分析 | 第33-34页 |
| 3.4.1 检验仪器原因分析 | 第33页 |
| 3.4.2 检验人员原因分析 | 第33-34页 |
| 第4章 MSA理论与方法在H公司测量系统中应用方案设计 | 第34-44页 |
| 4.1 方案设计原则 | 第34-35页 |
| 4.1.1 全员参与原则 | 第34页 |
| 4.1.2 前馈原则 | 第34-35页 |
| 4.2 方案内容框架 | 第35页 |
| 4.3 测量系统分析方案主要内容 | 第35-44页 |
| 4.3.1 测量系统分析类型和频率 | 第35-37页 |
| 4.3.2 稳定性分析 | 第37-38页 |
| 4.3.3 偏倚分析(独立样件法) | 第38-39页 |
| 4.3.4 线性分析 | 第39-40页 |
| 4.3.5 再现性和重复性(GRR)分析 | 第40-42页 |
| 4.3.6 KAPPA分析 | 第42-44页 |
| 第5章 方案实施和效果评价 | 第44-69页 |
| 5.1 方案实施 | 第44-64页 |
| 5.1.1 分析计划 | 第44-45页 |
| 5.1.2 线性分析-游标卡尺 | 第45-47页 |
| 5.1.3 稳定性分析-光泽度仪 | 第47-49页 |
| 5.1.4 偏倚线性分析-千分表 | 第49-51页 |
| 5.1.5 重复性及再现性(GRR) -ADE7200硅片分选仪-厚度 | 第51-55页 |
| 5.1.6 重复性及再现性(GRR) -表面颗粒度测试仪SP1 | 第55-59页 |
| 5.1.7 计数型测量系统分析-化腐片 | 第59-64页 |
| 5.2 方案实施保障措施 | 第64-67页 |
| 5.2.1 组织保障 | 第64-65页 |
| 5.2.2 制度保障 | 第65-67页 |
| 5.3 方案效果分析 | 第67-69页 |
| 第6章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 研究结论 | 第69页 |
| 6.2 研究展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
