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硅纳米线结构的制备及其SERS性能研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第1章 绪论第11-25页
    1.1 课题背景第11页
    1.2 表面增强拉曼散射简介第11-13页
        1.2.1 拉曼光谱第11-12页
        1.2.2 表面增强拉曼散射第12-13页
    1.3 SERS基底研究现状第13-15页
    1.4 硅纳米线结构的性质及应用第15-17页
        1.4.1 硅纳米线结构的光学性质第15-17页
        1.4.2 硅纳米线结构的电学性质第17页
        1.4.3 硅纳米线的热力学性质第17页
    1.5 硅纳米线结构的制备方法第17-22页
        1.5.1 “自下而上”方法第18-20页
        1.5.2 “自上而下”方法第20-22页
    1.6 本论文研究目的及意义第22页
    1.7 本论文主要研究内容第22-25页
第2章 实验及表征方法第25-29页
    2.1 实验试剂第25页
    2.2 实验仪器第25-26页
    2.3 表征方法第26-27页
        2.3.1 扫描电子显微镜第26页
        2.3.2 X射线衍射仪第26页
        2.3.3 拉曼光谱仪第26-27页
    2.4 本章小结第27-29页
第3章 银纳米颗粒的制备及表征第29-37页
    3.1 前言第29页
    3.2 银纳米颗粒制备方法第29-30页
    3.3 银纳米颗粒制备第30-31页
        3.3.1 清洗硅片第30页
        3.3.2 浸镀法沉积银纳米颗粒第30-31页
        3.3.3 磁控溅射沉积银纳米颗粒第31页
        3.3.4 退火处理银纳米颗粒第31页
    3.4 银纳米颗粒的表征分析第31-35页
        3.4.1 银纳米颗粒的形貌表征第31-33页
        3.4.2 银纳米颗粒的结构分析第33-35页
    3.5 本章小结第35-37页
第4章 硅纳米线结构的制备及表征第37-51页
    4.1 前言第37页
    4.2 硅纳米线结构的制备第37-38页
    4.3 硅纳米线结构形貌的调控第38-49页
        4.3.1 刻蚀液配比对硅纳米线结构形貌的影响第38-42页
        4.3.2 刻蚀温度对硅纳米线结构形貌的影响第42-43页
        4.3.3 刻蚀时间对硅纳米线结构形貌的影响第43-45页
        4.3.4 银催化剂对硅纳米线结构形貌的影响第45-48页
        4.3.5 硅基底晶向对硅纳米线结构形貌的影响第48-49页
    4.4 本章小结第49-51页
第5章 硅纳米线结构在表面增强拉曼散射中的应用第51-63页
    5.1 前言第51页
    5.2 SERS基底的制备及表征分析第51-53页
        5.2.1 银修饰硅纳米线基底的制备第51-52页
        5.2.2 银修饰硅纳米线基底的表征分析第52-53页
    5.3 银修饰硅纳米线基底的SERS性能分析第53-61页
        5.3.1 硅纳米线结构的SERS性能第53-54页
        5.3.2 银纳米颗粒的SERS性能第54-56页
        5.3.3 不同形貌的银修饰硅纳米线基底SERS性能比较第56-61页
    5.4 本章小结第61-63页
结论第63-65页
参考文献第65-73页
攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果第73-75页
致谢第75页

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