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金属狭缝SPP模式与介质波导模式耦合特性的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第1章 绪论第8-17页
   ·引言第8-9页
   ·研究背景第9-12页
     ·表面等离子激元第9-10页
     ·金属狭缝 SPP 波导第10-12页
   ·Slot SPP 研究的关键问题及相关应用第12-15页
     ·Slot SPP 的激励第12-14页
     ·Slot SPP 应用于折射率传感第14-15页
   ·本论文主要研究内容和创新点第15-17页
第2章 Slot SPP 波导模式特性分析第17-27页
   ·引言第17页
   ·二维 MIM 结构的模式特性第17-21页
     ·二维 MIM 结构模式的理论分析方法第17-19页
     ·二维 MIM 结构的模式特性分析第19-21页
   ·三维 Slot SPP 波导的模式特性第21-26页
     ·基于有限元方法的本征模式求解第22-23页
     ·Slot SPP 模式与结构参数的关系第23-26页
   ·本章小结第26-27页
第3章 Slot SPP 模式与介质波导模式的耦合特性第27-42页
   ·引言第27页
   ·Slot SPP 波导与介质波导垂直耦合结构第27-28页
   ·耦合结构本征模式第28-34页
     ·TE 本征模式第28-33页
     ·TM 本征模式第33-34页
   ·耦合特性分析第34-39页
     ·TE 偏振第35-38页
     ·TM 偏振第38-39页
   ·Slot SPP 模式的激励效率第39-41页
   ·本章小结第41-42页
第4章 Slot SPP 模式与介质波导模式耦合的折射率相关性第42-53页
   ·引言第42页
   ·基于耦合器的折射率传感结构第42-43页
   ·耦合结构的折射率传感特性第43-48页
     ·较厚探测层的折射率传感第43-46页
     ·超薄探测层的折射率传感第46-48页
   ·折射率传感特性与结构参数的关系第48-52页
     ·介质波导宽度 Wd的影响第48-49页
     ·两波导间距 D 的影响第49-50页
     ·金属膜厚度 Tm的影响第50-52页
   ·本章小结第52-53页
第5章 垂直耦合结构的制备工艺第53-66页
   ·引言第53页
   ·耦合结构制备工艺第53-63页
     ·耦合结构填充层的制备第54-58页
     ·Slot SPP 波导的套刻第58-63页
   ·套刻偏差对耦合特性的影响第63-64页
   ·本章小结第64-66页
结束语第66-68页
参考文献第68-72页
致谢第72-73页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第73页

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