一种新型微机械陀螺阵列设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第12-19页 |
| 1.2.1 MEMS结构的国外发展现状 | 第12-16页 |
| 1.2.2 MEMS结构的国内发展现状 | 第16-19页 |
| 1.3 章节安排 | 第19-21页 |
| 第2章 微机械陀螺基础 | 第21-32页 |
| 2.1 哥氏效应 | 第21-23页 |
| 2.2 工作原理 | 第23-24页 |
| 2.3 静电驱动原理 | 第24-28页 |
| 2.3.1 平板电容结构的驱动原理 | 第25-27页 |
| 2.3.2 梳齿电容结构的驱动原理 | 第27-28页 |
| 2.4 电容检测原理 | 第28-30页 |
| 2.5 微机械陀螺的误差分析 | 第30-31页 |
| 2.6 微机械陀螺的性能指标 | 第31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 微机械陀螺的结构设计基础 | 第32-43页 |
| 3.1 解耦结构 | 第32-34页 |
| 3.2 陀螺振动结构的动力学分析 | 第34-42页 |
| 3.2.1 单自由度振动结构 | 第34-39页 |
| 3.2.2 二自由度振动结构 | 第39-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 微机械陀螺阵列的设计 | 第43-61页 |
| 4.1 陀螺单元的结构设计 | 第43-44页 |
| 4.2 陀螺阵列的设计 | 第44-46页 |
| 4.2.1 结构设计 | 第44-46页 |
| 4.2.2 工作方式 | 第46页 |
| 4.3 陀螺阵列的理论分析 | 第46-50页 |
| 4.3.1 动力学分析 | 第46-48页 |
| 4.3.2 设计方程 | 第48-50页 |
| 4.4 陀螺阵列的仿真分析 | 第50-60页 |
| 4.4.1 陀螺阵列的参数值 | 第50-51页 |
| 4.4.2 幅频特性 | 第51-52页 |
| 4.4.3 参数的影响分析 | 第52-56页 |
| 4.4.4 SIMULINK建模 | 第56-57页 |
| 4.4.5 动态响应 | 第57-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 改进的微机械陀螺阵列设计 | 第61-76页 |
| 5.1 改进的陀螺单元的结构设计 | 第61-62页 |
| 5.2 改进陀螺阵列的设计 | 第62-63页 |
| 5.2.1 结构设计 | 第62-63页 |
| 5.2.2 工作方式 | 第63页 |
| 5.3 改进陀螺阵列的理论分析 | 第63-66页 |
| 5.3.1 动力学分析 | 第63-65页 |
| 5.3.2 设计方程 | 第65-66页 |
| 5.4 改进陀螺阵列的仿真分析 | 第66-75页 |
| 5.4.1 改进陀螺阵列的参数值 | 第66-67页 |
| 5.4.2 幅频特性 | 第67-69页 |
| 5.4.3 参数的影响分析 | 第69-71页 |
| 5.4.4 SIMULINK建模 | 第71页 |
| 5.4.5 动态响应 | 第71-75页 |
| 5.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
