| 第一章 微机电系统的发展历程及研究现状 | 第13-36页 |
| 1.1 微型机械电子系统 | 第13-31页 |
| 1.1.1 微机电系统的定义与特征 | 第13-15页 |
| 1.1.2 微机电系统的发展历程 | 第15-18页 |
| 1.1.3 微机电系统基础性研究 | 第18-19页 |
| 1.1.4 微机电系统的材料与工艺 | 第19-26页 |
| 1.1.4.1 基体材料与功能材料 | 第19-20页 |
| 1.1.4.2 微加工工艺 | 第20-26页 |
| 1.1.5 微机电系统的应用 | 第26-31页 |
| 1.2 微流控系统 | 第31-35页 |
| 1.2.1 微流控系统的定义与发展 | 第31-33页 |
| 1.2.2 微流控系统的应用 | 第33-34页 |
| 1.2.3 存在的问题 | 第34-35页 |
| 1.3 课题研究内容及安排 | 第35-36页 |
| 第二章 玻璃微加工工艺的研究 | 第36-64页 |
| 2.1 玻璃微加工工艺研究背景 | 第36-39页 |
| 2.1.1 刻蚀工艺现状 | 第36-38页 |
| 2.1.2 玻璃键合工艺现状 | 第38-39页 |
| 2.2 各向同性湿法刻蚀工艺研究 | 第39-58页 |
| 2.2.1 玻璃湿法刻蚀机理 | 第39-43页 |
| 2.2.2 刻蚀工艺实验研究 | 第43-58页 |
| 2.3 玻璃-玻璃键合工艺研究 | 第58-64页 |
| 2.3.1 玻璃键合机理 | 第58-61页 |
| 2.3.2 键全工艺研究 | 第61-63页 |
| 2.3.3 玻璃键合工艺研究结论 | 第63-64页 |
| 第三章 微流体Micro-DPIV可视化检测技术的研究 | 第64-92页 |
| 3.1 微流体Micro-DPIV技术背景 | 第64-68页 |
| 3.1.1 传统PIV技术简介 | 第64-65页 |
| 3.1.2 Micro-DPIV技术研究现状 | 第65-68页 |
| 3.2 Micro-DPIV原理与设备构成 | 第68-78页 |
| 3.2.1 Micro-DPIV原理 | 第68-74页 |
| 3.2.2 硬件平台 | 第74-78页 |
| 3.3 Micro-DPIV关键技术 | 第78-88页 |
| 3.3.1 跨帧技术 | 第78-80页 |
| 3.3.2 基于快速傅立叶变换的互相关图像处理算法 | 第80-87页 |
| 3.3.2.1 互相关特点与算法 | 第80-81页 |
| 3.3.2.2 亚像素拟合 | 第81-82页 |
| 3.3.2.3 算法的程序化实现及效果 | 第82-87页 |
| 3.3.3 示踪粒子布朗运动误差处理 | 第87-88页 |
| 3.4 Micro-DPIV测试实例 | 第88-92页 |
| 第四章 微型无阀泵原理与样机研制 | 第92-119页 |
| 4.1 微型无阀泵特点与研究现状 | 第92-94页 |
| 4.2 微型无阀泵流体力学特征 | 第94-98页 |
| 4.2.1 扩散管流动特征 | 第94-97页 |
| 4.2.2 收缩管流动特征 | 第97-98页 |
| 4.3 微型无阀泵性能仿真 | 第98-114页 |
| 4.3.1 系统仿真 | 第98-106页 |
| 4.3.2 流场仿真 | 第106-114页 |
| 4.4 微型无阀泵样机制造 | 第114-119页 |
| 4.4.1 泵体加工 | 第114-116页 |
| 4.4.2 驱动膜加工 | 第116-119页 |
| 第五章 微型无阀泵性能测试 | 第119-142页 |
| 5.1 Micro-DPIV微流场测试 | 第119-139页 |
| 5.1.1 锥角的影响 | 第119-130页 |
| 5.1.2 驱动频率的影响 | 第130-139页 |
| 5.2 输出特性测试 | 第139-142页 |
| 第六章 集成微泵式微流控芯片的研究 | 第142-158页 |
| 6.1 微流控芯片研究现状 | 第142-144页 |
| 6.2 集成微泵式微流控芯片工作原理与结构设计 | 第144-148页 |
| 6.2.1 芯片工作原理 | 第144-146页 |
| 6.2.2 结构设计 | 第146-148页 |
| 6.3 微泵流量脉动对芯片功能影响的仿真研究 | 第148-152页 |
| 6.4 微芯片样机研制 | 第152-153页 |
| 6.5 微芯片性能测试 | 第153-158页 |
| 6.5.1 检测设备 | 第153-154页 |
| 6.5.2 检测结果与分析 | 第154-158页 |
| 第七章 结论与展望 | 第158-162页 |
| 7.1 微流控系统关键技术研究结论 | 第158-159页 |
| 7.1.1 玻璃微加工工艺 | 第158页 |
| 7.1.2 微流体Micro—DPIV检测技术 | 第158-159页 |
| 7.2 样机研制 | 第159-160页 |
| 7.2.1 微型无阀泵 | 第159页 |
| 7.2.2 集成微泵式电泳芯片 | 第159-160页 |
| 7.3 创新点 | 第160-161页 |
| 7.4 微流控系统发展展望 | 第161-162页 |
| 参考文献 | 第162-171页 |
| 项目来源 | 第171页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第171-173页 |
| 申请专利情况 | 第173-174页 |
| 致谢 | 第174-175页 |