柔性无源电子器件和互连线的射频特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 柔性电子器件的发展 | 第9-10页 |
| 1.1.2 柔性无源元件的重要性 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 射频微波无源器件的电磁场分析方法 | 第12-14页 |
| 1.4 论文的研究内容及结构安排 | 第14-15页 |
| 第二章 柔性射频螺旋电感 | 第15-24页 |
| 2.1 电感分析的基本理论 | 第15-16页 |
| 2.2 柔性螺旋电感的版图参数 | 第16-17页 |
| 2.3 柔性螺旋电感的工艺参数 | 第17-18页 |
| 2.4 损耗机制 | 第18-20页 |
| 2.4.1 金属损耗 | 第18-19页 |
| 2.4.2 衬底损耗 | 第19-20页 |
| 2.5 平面螺旋电感的电路模型 | 第20-21页 |
| 2.6 螺旋电感的性能指标 | 第21-24页 |
| 2.6.1 电感量 | 第21-22页 |
| 2.6.2 品质因数 | 第22-23页 |
| 2.6.3 自谐振频率 | 第23-24页 |
| 第三章 柔性螺旋电感的射频特性分析 | 第24-49页 |
| 3.1 柔性射频螺旋电感的电磁仿真 | 第24-28页 |
| 3.1.1 HFSS软件仿真环境设置及模型建立 | 第25-27页 |
| 3.1.2 电磁仿真数据的可靠性 | 第27-28页 |
| 3.2 版图参数对柔性螺旋电感射频特性的影响分析 | 第28-35页 |
| 3.2.1 螺旋电感圈数 | 第29-30页 |
| 3.2.2 金属间距 | 第30-31页 |
| 3.2.3 线圈宽度 | 第31-32页 |
| 3.2.4 下引线宽度 | 第32-34页 |
| 3.2.5 版图形状 | 第34页 |
| 3.2.6 内径 | 第34-35页 |
| 3.3 工艺参数对柔性螺旋电感射频特性的影响分析 | 第35-42页 |
| 3.3.1 衬底类型 | 第35-37页 |
| 3.3.2 介质层厚度 | 第37-38页 |
| 3.3.3 金属类型 | 第38-40页 |
| 3.3.4 螺旋线圈金属厚度 | 第40-42页 |
| 3.4 改进的等效电路模型的提出 | 第42-44页 |
| 3.5 柔性螺旋电感弯曲态下的射频特性分析 | 第44-46页 |
| 3.6 柔性螺旋电感的版图设计 | 第46-49页 |
| 第四章 柔性电容的射频特性分析 | 第49-60页 |
| 4.1 柔性MIM电容的工艺结构及参数 | 第49-50页 |
| 4.2 柔性MIM电容的等效电路模型及性能指标 | 第50-51页 |
| 4.3 柔性MIM电容的电磁仿真及性能分析 | 第51-56页 |
| 4.3.1 柔性MIM电容的电磁仿真模型建立 | 第51-52页 |
| 4.3.2 柔性MIM电容的电磁仿真的可靠性 | 第52-53页 |
| 4.3.3 柔性MIM电容性能的提升 | 第53-56页 |
| 4.4 柔性电容弯曲态下的射频特性分析 | 第56-57页 |
| 4.5 柔性电容的版图设计 | 第57-60页 |
| 第五章 柔性互连线的射频特性分析 | 第60-67页 |
| 5.1 互连线的结构 | 第60-61页 |
| 5.2 互连线的主要性能参数 | 第61-62页 |
| 5.3 不同衬底结构的CPW损耗特性 | 第62-65页 |
| 5.4 互连线的版图设计 | 第65-67页 |
| 第六章 总结和展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
