| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第7页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第7-17页 |
| 1.2.1 双波长移相干涉仪的分类 | 第7-13页 |
| 1.2.2 光学非均匀性的检测方法概述 | 第13-17页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 双波长移相干涉技术的基本原理 | 第18-27页 |
| 2.1 移相干涉技术的基本原理 | 第18-23页 |
| 2.1.1 移相干涉技术的基本原理 | 第18-20页 |
| 2.1.2 移相算法分类 | 第20-23页 |
| 2.2 双波长干涉测试技术的基本原理 | 第23-26页 |
| 2.2.1 双波长移相干涉技术的基本原理 | 第23-25页 |
| 2.2.2 双波长移相干涉技术的误差放大效应及其消除 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 斐索式双波长移相干涉仪的整体光路设计 | 第27-40页 |
| 3.1 斐索式双波长移相干涉仪的整体光路方案设计 | 第27-35页 |
| 3.1.1 扩束准直系统 | 第28-29页 |
| 3.1.2 准直系统的光路结构设计 | 第29-30页 |
| 3.1.3 对点调整光路与测试成像光路 | 第30-31页 |
| 3.1.4 成像透镜组的设计 | 第31-35页 |
| 3.2 硬件参数选择 | 第35-37页 |
| 3.2.1 激光器参数选择 | 第35-37页 |
| 3.2.2 探测器参数选择 | 第37页 |
| 3.3 装调方案及过程 | 第37-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 光学非均匀性的双波长干涉测试方案 | 第40-50页 |
| 4.1 光学非均匀性定义 | 第40-41页 |
| 4.2 采用传统的绝对测量方法测量光学非均匀性的理论基础 | 第41-42页 |
| 4.3 光学非均匀性的双波长干涉测试方案的理论分析 | 第42-46页 |
| 4.4 计算机模拟仿真结果 | 第46-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 测量误差因素的模拟仿真与实验分析 | 第50-72页 |
| 5.1 测量误差因素的模拟仿真 | 第50-65页 |
| 5.1.1 像素错位误差的模拟仿真 | 第50-55页 |
| 5.1.2 CCD探测器分辨率的误差模拟仿真 | 第55-60页 |
| 5.1.3 楔形板的样品厚度的误差模拟仿真 | 第60-65页 |
| 5.2 验证性实验研究 | 第65-70页 |
| 5.2.1 采用双波长移相干涉测量光学非均匀性的实验结果 | 第65-67页 |
| 5.2.2 采用ZYGO干涉仪测量光学非均匀性的实验结果 | 第67-70页 |
| 5.3 系统测量误差分析 | 第70-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 6 总结与展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 附录 | 第78页 |
