纳米金刚石厚膜在钼基体上的生长研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 纳米金刚石的研究背景 | 第11-14页 |
| 1.1.1 纳米金刚石的应用前景 | 第12-14页 |
| 1.2 纳米金刚石的研究现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 纳米金刚石的制备技术 | 第14-17页 |
| 1.2.2 纳米金刚石的表征 | 第17-18页 |
| 1.3 影响纳米金刚石形核的因素 | 第18-21页 |
| 1.3.1 基体 | 第19-20页 |
| 1.3.2 预处理 | 第20页 |
| 1.3.3 反应气体 | 第20页 |
| 1.3.4 沉积温度 | 第20-21页 |
| 1.4 课题研究的内容、目的及意义 | 第21-23页 |
| 第二章 样品的制备与表征 | 第23-29页 |
| 2.1 实验设备及原理 | 第23-24页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第23-24页 |
| 2.1.2 实验原理 | 第24页 |
| 2.2 实验过程 | 第24-26页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第24-25页 |
| 2.2.2 基体预处理 | 第25页 |
| 2.2.3 沉积工艺 | 第25-26页 |
| 2.3 样品的表征与测试 | 第26-29页 |
| 2.3.1 激光拉曼光谱分析仪 | 第26-27页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第27页 |
| 2.3.3 原子力显微镜 | 第27页 |
| 2.3.4 微米划痕仪与摩擦试验机 | 第27-29页 |
| 第三章 工艺参数对纳米金刚石形核的影响 | 第29-41页 |
| 3.1 甲烷浓度对纳米金刚石形核的影响 | 第29-33页 |
| 3.1.1 表面形貌SEM分析 | 第30-32页 |
| 3.1.2 机理分析 | 第32-33页 |
| 3.2 基体温度对纳米金刚石形核的影响 | 第33-36页 |
| 3.2.1 表面形貌SEM分析 | 第34-35页 |
| 3.2.2 机理分析 | 第35-36页 |
| 3.3 氮气浓度对纳米金刚石形核的影响 | 第36-39页 |
| 3.3.1 表面形貌SEM分析 | 第37-39页 |
| 3.3.2 机理分析 | 第39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 纳米金刚石厚膜的生长研究 | 第41-51页 |
| 4.1 表面形貌SEM分析 | 第41-43页 |
| 4.2 拉曼分析 | 第43-44页 |
| 4.3 AFM测试分析 | 第44-46页 |
| 4.4 摩擦性能测试 | 第46-47页 |
| 4.5 结合力强度测试 | 第47-49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第51-55页 |
| 5.1 全文总结 | 第51-52页 |
| 5.2 展望 | 第52-55页 |
| 参考文献 | 第55-65页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
