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高功率脉冲磁控溅射技术制备Ti-Cu薄膜及血小板粘附件为

摘要第6-8页
Abstract第8-9页
第1章 绪论第12-22页
    1.1 铜离子的生理作用第12-13页
        1.1.1 铜的抗菌作用第12页
        1.1.2 铜与一氧化氮、血小板以及内皮细胞的作用第12-13页
    1.2 含CU生物材料的研究进展第13-14页
    1.3 高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)第14-19页
        1.3.1 磁控溅射第14-15页
        1.3.2 高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)第15-19页
    1.4 本课题的选题意义及研究现状第19-20页
        1.4.1 选题意义第19-20页
        1.4.2 TI-CU薄膜的研究现状第20页
    1.5 本课题的工艺路线和研究内容第20-22页
第2章 实验装置与实验方法第22-30页
    2.1 高功率脉冲磁控溅射系统装置第22-23页
    2.2 靶材的设计与制备第23-24页
    2.3 薄膜沉积的数据采集第24页
        2.3.1 电学参数采集第24页
        2.3.2 等离子体光谱采集第24页
    2.4 薄膜成分与结构表征第24-26页
        2.4.1 X射线衍射(XRD)表征第24-25页
        2.4.2 扫描电子显微镜(SEM)表征第25页
        2.4.3 能谱仪(EDS)表征第25-26页
    2.5 薄膜性能表征第26-28页
        2.5.1 薄膜厚度的测量第26页
        2.5.2 薄膜的润湿性第26页
        2.5.3 薄膜腐蚀性能评价第26-27页
        2.5.4 薄膜Cu离子释放测试第27页
        2.5.5 薄膜催化NO释放实验第27-28页
    2.6 薄膜血液相容性评价第28-30页
第3章 TI-CU薄膜的制备与性能研究第30-46页
    3.1 TI-CU薄膜的制备第30-31页
    3.2 钛铜靶材电学特性及等离子体密度第31-33页
    3.3 钛铜靶材溅射时的等离子体光谱分析第33-34页
    3.4 TI-CU薄膜的沉积速率第34-35页
    3.5 TI-CU薄膜表面形貌分析第35-37页
    3.6 TI-CU薄膜成分分析第37-41页
        3.6.1 EDS分析第37-40页
        3.6.2. XPS分析第40-41页
    3.7 TI-CU薄膜的结构分析第41-43页
    3.8 TI-CU薄膜的润湿性第43-44页
    3.9 本章小结第44-46页
第4章 TI-CU薄膜CU离子的释放、催化NO释放及血小板粘附行为第46-55页
    4.1 TI-CU薄膜的铜离子释放特性第46-49页
        4.1.1 TI-CU薄膜浸泡释放实验第46-47页
        4.1.2 TI-CU薄膜的腐蚀性能第47-49页
    4.2 TI-CU薄膜催化NO释放特性第49-50页
    4.3 血小板粘附实验第50-53页
    4.4 本章小结第53-55页
结论第55-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-62页

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