基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测技术的研究
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10-12页 |
| 1.2 光学元件表面疵病 | 第12-13页 |
| 1.3 表面疵病检测技术国内外研究现状及趋势 | 第13-16页 |
| 1.3.1 基本检测方法 | 第13-14页 |
| 1.3.2 国外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.3 国内研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 多光谱技术及国内外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4.1 光谱成像技术发展 | 第16-17页 |
| 1.4.2 光谱成像技术应用 | 第17-18页 |
| 1.5 本论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 光学元件表面疵病检测技术 | 第20-36页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 光学元件表面散射 | 第20-21页 |
| 2.3 多光谱技术 | 第21-24页 |
| 2.3.1 光源 | 第21-22页 |
| 2.3.2 波长选择器件 | 第22-24页 |
| 2.3.3 面阵探测器 | 第24页 |
| 2.4 多光谱光学显微散射成像技术 | 第24页 |
| 2.5 疵病定位与疵病测量技术 | 第24-34页 |
| 2.5.1 图像灰度阈值处理 | 第25-26页 |
| 2.5.2 形态学数字图像处理 | 第26-31页 |
| 2.5.3 圆拟合算法 | 第31-32页 |
| 2.5.4 线拟合算法 | 第32-34页 |
| 2.6 小结 | 第34-36页 |
| 3 基于多光谱技术的表面疵病检测系统及实验分析 | 第36-64页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 多光谱光学元件表面疵病检测系统 | 第36-41页 |
| 3.2.1 表面疵病检测系统硬件结构 | 第36-40页 |
| 3.2.2 表面疵病检测系统软件 | 第40-41页 |
| 3.3 多光谱光学表面疵病检测实验与分析 | 第41-63页 |
| 3.3.1 滤光片位置实验与分析 | 第41-45页 |
| 3.3.2 系统分辨率实验与分析 | 第45-46页 |
| 3.3.3 表面疵病尺寸标定实验 | 第46-47页 |
| 3.3.4 表面疵病数量检测实验与分析 | 第47-51页 |
| 3.3.5 表面疵病精度检测实验与分析 | 第51-63页 |
| 3.4 小结 | 第63-64页 |
| 4 光学元件表面疵病边缘特征提取技术研究 | 第64-74页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 边缘特征提取算法 | 第64-68页 |
| 4.2.1 边缘检测基本算法 | 第64-66页 |
| 4.2.2 边缘检测改进算法 | 第66-68页 |
| 4.3 低对比度表面疵病图像边缘特征提取 | 第68-72页 |
| 4.3.1 低对比度表面疵病图像分析 | 第68-69页 |
| 4.3.2 低对比度表面疵病边缘特征提取 | 第69-72页 |
| 4.4 小结 | 第72-74页 |
| 5 结论与展望 | 第74-76页 |
| 5.1 结论 | 第74页 |
| 5.2 展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 作者简介 | 第82页 |
